2008 Fiscal Year Annual Research Report
| Project/Area Number |
20560402
|
|---|
| Research Institution | Shibaura Institute of Technology |
|---|
Principal Investigator |
小池 義和 Shibaura Institute of Technology, 工学部, 准教授 (30251672)
|
|---|
| Keywords | 計測システム / 超音波 / 洗浄機 / キャピテーション / 超純水 / 音響出力 / 高周波 / 音圧測定 |
|---|
| Research Abstract |
本研究では,極限環境で使用可能な音響プローブの開拓を目的としている。この研究で対象としている極限環境は,「数百℃の高温下」,「超純水中」の二つの環境を主に対象とし,初年度は以下の項目について重点的に進めていた。
【1.光学的検出によるプローブの構成】
円筒状にくりぬいた石英ロッドを作成し,レーザ・ドップラ振動速度計で音圧検出面と円筒状にくりぬかれている反対側の平面部に励振される振動振幅を検出することにより,音圧が測定可能になる。この測定で,音圧出力と振動振幅との関係を求め,音圧感度について検討した。今年度は,1MHzの水槽タイプの超音波洗浄機の音場測定を行い,波形の測定を行っている。また,絶対値音圧への校正を行うために,ニードルハイドロホンを用いて比較を行い,さらに断面形状などの改良が必要となることを確認している。
【2.洗浄ダメージの少ない超音波洗浄機の音圧測定】
本年度は半導体基板で45nmプロセスにおいて,洗浄ダメージが少ない超音波洗浄機を開発している。
この洗浄機の性能評価を行う上で,これまでのニードルハイドロホンを用いると,音圧レベールが高すぎるためにプローブ自体が破壊され,測定不可能となることを確認している。そのため,本研究で提案している音響プローブを適用し,音圧が測定可能なことを確認している。キャビテーション発生時に現れる特有の高調波スペクトルは確認できているが,絶対音圧の測定までは至っていない。今後,絶対音圧の校正を行い,洗浄機の改良も同時に進めていく。
|
