新規な熱波顕微鏡システムによる透明電極の熱物性評価法の開発

2010 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 20560407
• Research Institution: Kanazawa Technical College
• Principal Investigator: 南出 章幸 金沢工業高等専門学校, 電気電子工学科, 教授 (20259849)
• Keywords: 熱波 / 光音響法 / 熱物性評価 / 透明膜 / 熱波インピーダンス

Research Abstract

近年、産業界では薄膜を使った製品が数多く造られ、特に透明電極であるITO(酸化インジウムスズ)膜は液晶パネルや有機ELパネルなどのフラットパネルディスプレイ用の電極などとして使用されており、現在の産業界にはなくてはならないものとなっている。しかし、透明電極はその光学特性や電気特性についてはかなり把握されている一方、その熱特性についてはほとんど調べられていないように思われる。
本研究では、申請者がこれまでに開発してきた光音響顕微鏡システムを改良した新規な"熱波顕微鏡システム"を提案し、透明電極の熱物性の簡単な評価法を開発することを目的とする。
まず、透明電極の熱拡散率を推定する前段階として、比較的入手しやすく、その物性値が明らかとなっている高分子透明膜を使って、本研究で提案した透明膜の熱拡散率推定法が実際の測定に使えるかどうかを確かめ、センサーとして高感度マイクロホンを使った測定法を確立した。次に、本研究で開発した熱波顕微鏡システムで透明電極の熱物性評価を行う予定であったが、所望の膜厚の透明電極が形成できなかった。電極は非常に薄く本システムで使うレーザ光の変調周波数では、その基材とともに評価することの必要性が明らかとなった。今後、基材とともに信号を測定し、そこから透明電極の熱物性を間接測定する方法の確立を目指す。
さらにPVDF焦電センサーを試作し、高分子透明膜の信号の測定を試み、今後のセンサー試作の基礎データを得た。