2010 Fiscal Year Annual Research Report
コンビナトリアル・スパッタ法を用いるEL素子用多元系複合酸化物蛍光体薄膜の開発
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20560680
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| Research Institution | Kanazawa Institute of Technology |
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Principal Investigator |
宮田 俊弘 金沢工業大学, 工学部, 教授 (30257448)
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| Keywords | 薄膜 / EL素子 / コンビナトリアル / スパッタリング / 蛍光体 |
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| Research Abstract |
1) 前年度に確立したコンビナトリアルスパッタリング成膜技術を駆使して、平成22年度は新規な蛍光体材料の探索を行った。新規な多元系(複合)蛍光体薄膜を実現し、優れた性能を有する蛍光体薄膜を実現できた。
2) 上記の新規な蛍光体材料の探索の結果、特にBaLa_2O_4系蛍光体薄膜において優れた特性を実現できた。コンビナトリアルスパッタリング成膜技術を駆使して、構成元素の組成の最適化、発光中心材料の含有量の最適化を行った結果、母体組成及び発光中心の組み合わせを最適化することにより、青から赤色までの多色発光を実現できた。
3) 蛍光体材料の開発で確立したコンビナトリアルスパッタリング成膜技術を駆使して、光電変換材料、透明導電性材料、酸化物半導体材料等の各種機能性薄膜を作製し、コンビナトリアルスパッタリング成膜が機能性薄膜材料の創生及び作製条件の最適化に対して、極めて有効な成膜技術であることを立証した。
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Research Products
(4 results)
