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2008 Fiscal Year Annual Research Report

カーボンナノチューブの流体感知性能のナノセンサ計測

Research Project

Project/Area Number 20656140
Research Category

Grant-in-Aid for Exploratory Research

Research InstitutionKyushu University

Principal Investigator

高橋 厚史  Kyushu University, 工学研究院, 准教授 (10243924)

Keywordsマイクロナノデバイス / 熱工学 / ナノチューブ・フラーレン
Research Abstract

流体センサの超小型化・高性能化を目指して、MEMS技術を応用した熱線式のナノ流体センサの試作研究をこれまで行ってきたが、超小型化に起因するS/N比の悪化が著しい。そこで、カーボンナノチューブ(CNT)をフィンとして熱線センサに付加する技術の開発とその効果の検証が本研究の目的である。そこで本年度は1本のCNTをフィンとなるようナノ熱線センサへ垂直に接合する研究を行った。実験はすべてナノマニピュレーター(Kleindiek-MM3A-EM)を内蔵した現有の走査型電子顕微鏡(SEM:Hitachi S-2460N)の内部で行った。具体的には、マニピュレータを用いて束になったCNTから直径と長さの適当な1本を選定し、センサへEBID(Electron-Beam-lnduced Deposition)法で接着する。ここで、EBIDとはSEM内のカーボン雰囲気に電子線のエネルギーを作用させてアモルファスカーボンとして基板上に堆積させる技術であり、ナノ材料の接合に応用できる。今回はCNTはナノカーボンテクノロジー社の多層のものを採用した。なお、ナノ熱線の製作法は電子線リソグラフィーとエッチング技術の組み合わせによってすでに本申請者らによって確立されており、幅400nmの白金薄膜細線の懸架された部分のみが基板から断熱されてナノセンサとして働くという原理になる。今年度の研究で明らかになったのは、設置のためのマニピュレータプローブからのCNTの取り外しが非常に困難であることである。そこで急遽、取り外しのための技術開発を行った。具体的にはSEM内に酸素を局所的に導入し、電子線を当ててEBIDのアモルファスカーボンを除去する技術である。詳細はここには記述しないが1ミクロン以下の空間精度で正確なカーボンエッチングが可能となり次年度以降のセンサ構築技術がここに確立したと言える。

  • Research Products

    (9 results)

All 2008

All Journal Article (6 results) (of which Peer Reviewed: 6 results) Presentation (3 results)

  • [Journal Article] Visualization of Horizontally-Aligned Single-Walled Carbon Nanotube Growth with 13C/12C Isotopes2008

    • Author(s)
      H. Ago, N. Ishigami, N. Yoshihara, K. Imamoto, S. Akita, K. Ikeda, M. Tsuji, T. Ikuta, K. Takahashi
    • Journal Title

      J. Physical Chem. C. Letters 112

      Pages: 1735-1738

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] T字一体型ナノセンサを用いた熱伝導率計測における誤差の推定2008

    • Author(s)
      伊藤洋平, 高橋厚史, 藤井丕夫, 張興
    • Journal Title

      熱物性 22

      Pages: 104-112

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] パラフィンを用いたEBIDの堆積速度と移動現象2008

    • Author(s)
      甲斐聡, 高橋厚史, ノルシャズワン, 生田竜也, 西山貴史, 永山邦仁
    • Journal Title

      電気学会論文誌E 128

      Pages: 161-166

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Thermal conductivity of SiC nanowire formed by combustion synthesis2008

    • Author(s)
      K. Takahashi, et al.
    • Journal Title

      High Temperatures-High Pressures 37

      Pages: 119-125

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Charge and Heat transport in Polysrystalline Metallic Nanostructures2008

    • Author(s)
      X. Zhang, K. Takahashi, M. Fujii
    • Journal Title

      Chinese Physics Letters 25

      Pages: 3360-3363

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Measuring Thermal Conductivity of Nano Deposition Using Pt Hot Film2008

    • Author(s)
      Y. Ito, K. Takahashi, N. Hilmi, X. Zhang
    • Journal Title

      Thermal Science & Engineering 16

      Pages: 105-111

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Measuring Thermal Conductivity of Nano Deposition Usinh Pt Hot Film2008

    • Author(s)
      Y. Ito, N. Hilmi, K. Takahashi, X. Zhang
    • Organizer
      Proc. The 7th JSME-KSME Thermal and FluidsEng. Conf.
    • Place of Presentation
      札幌市
    • Year and Date
      20081013-20081016
  • [Presentation] Micro Oscillation Heat Pipe Fabricated On Silicon Wafer2008

    • Author(s)
      M. Kohno, T. Nishizono, Y. Onaka, S. Hidaka, K. Takahashi, Y. Takata
    • Organizer
      Proc. 6th Intl. ASME Conf. Nanochannels, Microchannels and Minichannels
    • Place of Presentation
      Darmstadt, Germany
    • Year and Date
      20080623-20080625
  • [Presentation] Study on Thermal Conductivity Measurement of Suspended Metal Films by Using NEMS Technology2008

    • Author(s)
      Y. Ito, K. Takahashi, T. Ikuta, X. Zhang
    • Organizer
      Proc. 1st International Symposium on Thermal Design and Thermophysical Property for Electronics
    • Place of Presentation
      つくば市
    • Year and Date
      20080618-20080620

URL: 

Published: 2010-06-11   Modified: 2016-04-21  

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