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2012 Fiscal Year Annual Research Report

確率共鳴で動作するナノ機械によるセンシング

Research Project

Project/Area Number 20676001
Research InstitutionTohoku University

Principal Investigator

小野 崇人  東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90282095)

Project Period (FY) 2008-04-08 – 2013-03-31
Keywords確率共鳴 / 非線形性 / 振動子 / 結合振動子 / 高感度センサ / 熱量センサ / 細胞 / 演算素子
Research Abstract

PZT圧電体薄膜からなる駆動機能、検出機能を内蔵した振動子のアレイを利用し、確率共鳴によるセンシングが可能な振動子を作製、評価した。共振周波数が異なる各振動子のアレイを同期させ、周波数チューニングしなくても複数の振動子において同期による確率振幅が起きる。その信号を平均化することで、デジタルからアナログ的な信号への変換ができることを示した。一方、高感度な熱量センサへの展開を行った。室温における熱でも、確率共鳴がおき信号を増大させ、それが複数の振動子で平均化されることで、熱ノイズがあっても高感度な測定を可能にした。2つの振動子を機械的に結合させ、振動振幅を変えることで、それぞれの振動子の非線形性が複雑に変化することを見いだした。また、この結合振動子が、ロジック回路を形成していることがわかった。このことは、結合した振動子を用いて、演算が可能であることを示しており、極めて高温などのロバスト環境で演算素子として利用できるかもしれない。
一方、高感度な熱量センサを単一細胞の熱を測定することに利用し、細胞レベルの生命活動のモニタリングに応用した。液体中の細胞の熱を熱ガイドを通して、真空中にある高感度の熱量センサに伝達する。周りが真空になっており、熱的に断熱されているため、高感度に測定できた。また、細胞が発生する熱が、確率共鳴的なふるまいをすることを見出した。

  • Research Products

    (13 results)

All 2013 2012 Other

All Journal Article (5 results) (of which Peer Reviewed: 5 results) Presentation (6 results) Book (1 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Pico calorimeter for detection of heat produced in an individual brown fat cell2012

    • Author(s)
      Naoki Inomata, Masaya Toda, Masaaki Sato, Akihiko Ishijima, and Takahito Ono
    • Journal Title

      Applied Physics Letters

      Volume: 100 Pages: 154104-1~154104-4

    • DOI

      DOI:10.1063/1.3701720

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Piezoresistive Silicon Microresonator for Measurements of Hydrogen Adsorption in Carbon Nanotubes2012

    • Author(s)
      Zhonglie An, Masayoshi Esashi, and Takahito Ono
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 51 Pages: 116601-4

    • DOI

      DOI:10.1143/JJAP.51.116601

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Fabrication of Hermetically Packaged Silicon Resonator on LTCC Substrate2012

    • Author(s)
      Nguyen Van TOAN, Hidetoshi MIYASHITA, Masaya TODA, Yusuke KAWAI, and Takahito ONO
    • Journal Title

      Microsystem technologies

      Volume: 23

    • DOI

      DOI:10.1007/s00542-012-1716-5

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Fabrication of a Si-PZT hybrid XY-microstage with CNT-carbon hinges2012

    • Author(s)
      Liang He, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Mohd Faizul Sarbi, Mamoru Omori, Toshiyuki Hashida, Takahito Ono
    • Journal Title

      電気学会論文誌E

      Volume: 132 Pages: 425-426

    • DOI

      10.1541/ieejsms.132.425

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Suspended biomaterial microchannel resonators for thermal sensing of local heat generation in liquid2012

    • Author(s)
      Masaya Toda, Tomoyuki Otake, Hidetoshi Miyashita, Yusuke Kawai, Takahito Ono
    • Journal Title

      Microsystem technologies

    • DOI

      10.1007/s00542-012-1698-3

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Fabrication and packaging process of silicon resonators capable of the integration of LSI for application of timing device2013

    • Author(s)
      Nguyen Van Toan, Hidetoshi Miyashita, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono
    • Organizer
      The IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
    • Place of Presentation
      Taipei, Taiwan
    • Year and Date
      2013-01-23
  • [Presentation] Parametrically driven resonant micro-mirror scanner with tunable spring2013

    • Author(s)
      Jinhyeok Kim, Yusuke Kawai, Naoki Inomata and Takahito Ono
    • Organizer
      The IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
    • Place of Presentation
      Taipei, Taiwan
    • Year and Date
      2013-01-23
  • [Presentation] Parametrically-Amplified Resonant Micro-mirror with Tunable Springs2012

    • Author(s)
      Jinhyeok Kim, Yusuke Kawai, Naoki Inomata, Takahito Ono
    • Organizer
      センサ・マイクロマシンと応用システム
    • Place of Presentation
      北九州市
    • Year and Date
      2012-10-23
  • [Presentation] Design and fabrication of capacitive silicon resonator on LTCC substrate2012

    • Author(s)
      Toan Nguyen Van, Hidetoshi Miyashita, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono
    • Organizer
      International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE)
    • Place of Presentation
      Toulouse, France
    • Year and Date
      2012-09-20
  • [Presentation] Design and fabrication of capacitive silicon resonator on LTCC substrate2012

    • Author(s)
      Toan Nguyen Van, Hidetoshi Miyashita, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono
    • Organizer
      international Conference on Micro and Nano Engineering (MNE)
    • Place of Presentation
      Toulouse, France
    • Year and Date
      2012-09-20
  • [Presentation] Microsystems based on Additive Micro/Nanofabrication Processes2012

    • Author(s)
      Takahito Ono
    • Organizer
      Solid-State Systems Symposium -VLSls & Semiconductor Related Technologies
    • Place of Presentation
      Ho Chi Minh City, Vietnam (Invited)
    • Year and Date
      2012-08-23
  • [Book] Microfabricated Probe Technology, Encyclopedia Of Nanotechno logy2012

    • Author(s)
      Takahito Ono
    • Publisher
      Springer
  • [Remarks]

    • URL

      http://www.nme.mech.tohoku.ac.jp/

URL: 

Published: 2014-07-16  

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