• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to project page

2010 Fiscal Year Annual Research Report

マイクロマシン技術を用いた超軽量・高分解能宇宙X線望遠鏡の開発

Research Project

Project/Area Number 20684006
Research InstitutionTokyo Metropolitan University

Principal Investigator

江副 祐一郎  首都大学東京, 理工学研究科, 助教 (90462663)

KeywordsX線天文学 / X線望遠鏡 / マイクロマシン技術
Research Abstract

本計画では、これまで世界最軽量であった日本のすざく衛星のX線望遠鏡を、重量で2桁軽量化しつつ、角度分解能は1桁向上した、「1000cm^2の有効面積と10秒角の分解能を備えたkgクラスの究極の軽量X線望遠鏡」を目指す。鍵となるのが日本が得意とする様々なマイクロマシン技術である。我々は本計画以前に、シリコン結晶異方性エッチングを用いて製作した鏡面で軽量化の基本概念を実証してきた。本計画では、(1)シリコンドライエッチングによる軽量X線反射用の微細構造の製作、(2)X線LIGAを用いた軽量X線反射用の金属微細構造の製作、(3)磁気流体を用いたエッチング面の研磨、(4)アニールを用いたシリコンエッチング面の平滑化、(5)塑性変形もしくは弾性変形による高精度な変形の開発を行う。この方法で開発する望遠鏡は我々のオリジナルである。
我々はドライエッチングとアニール、塑性変形を使った大開口効率(40%)の4インチシリコンX線光学系を試作し、本方式で世界で初めてのX線結像実証に成功した。またニッケルX線光学系の試作プロセスに目処を付けた。そして本格的な2段望遠鏡を目指して、2枚の基板の高精度アラインメント装置をデザインし、製作した。成果は国内学会で4件(うち招待講演1件)、国際学会で4件(うち招待講演1件)の発表を行った。さらに関連成果として6本の査読付き論文が出版され、1本の修士論文ぶ書かれた。

  • Research Products

    (17 results)

All 2011 2010 Other

All Journal Article (6 results) (of which Peer Reviewed: 6 results) Presentation (8 results) Remarks (1 results) Patent(Industrial Property Rights) (2 results)

  • [Journal Article] Ultra light-weight and high-resolution X-ray mirrors using DRIE and X-ray LIGA techniques for Space X-ray Telescopes2010

    • Author(s)
      Y.Ezoe, et al.
    • Journal Title

      Microsystem Technologies

      Volume: 16 Pages: 1633-1641

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Magnetic field assisted finishing for micro-pore X-ray focusing mirrors fabricated by deep reactive ion etching2010

    • Author(s)
      H.Yamaguchi, et al.
    • Journal Title

      CIRP Annual Manufacturing Technologies

      Volume: 59 Pages: 351-354

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Simulation-based study of MEMS X-ray optics for Microanalysis2010

    • Author(s)
      Y.Ezoe, et al.
    • Journal Title

      IEEE Journal of Quantum Electronics

      Volume: 46 Pages: 1295-1300

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Optical image analysis of the novel ultra-lightweight and high-resolution MEMS X-ray optics2010

    • Author(s)
      I.Mitsuishi, et al.
    • Journal Title

      IEEE Journal of Quantum Electronics

      Volume: 46 Pages: 1309-1312

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Development of an alternating magnetic field assisted finishing process for MEMS micro- pore X-ray optics2010

    • Author(s)
      R.E.Riveros, et al.
    • Journal Title

      Applied Optics

      Volume: 49 Pages: 3511-3521

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Magnetic Field Assisted Finishing of Silicon MEMS Micro-pore X-ray Optics2010

    • Author(s)
      R.E.Raveros, et al.
    • Journal Title

      Prceeedings of ASME 2010(査読付の国際会議収録論文)

      Pages: MSEC2010-34121

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Recent progress in MEMS X-ray Optics2011

    • Author(s)
      Y.Ezoe, et al.
    • Organizer
      International Workshop on Astronomical X-ray Optics
    • Place of Presentation
      Chez(招待)
    • Year and Date
      2011-12-09
  • [Presentation] 将来衛星に向けた超軽量、高分解能MEMS光学系の基礎開発(3)2010

    • Author(s)
      右津健祐, その他
    • Organizer
      応用物理学会
    • Place of Presentation
      長崎
    • Year and Date
      20100914-20100917
  • [Presentation] マイクロマシン技術を用いた超軽量・高角度分解能X線光学系の開発2010

    • Author(s)
      森山鉄平, その他
    • Organizer
      第11回宇宙科学シンポジウム
    • Place of Presentation
      相模原
    • Year and Date
      20100105-20100107
  • [Presentation] Study on Fabrication of Ni Mirror Chip for Space X-ray Telescopes Utilizing LIGA Process2010

    • Author(s)
      M.Horade, et al.
    • Organizer
      MHS 2010
    • Place of Presentation
      Nagoya
    • Year and Date
      2010-11-09
  • [Presentation] MEMS-Based X-ray Optics for Future Astronomical Missions2010

    • Author(s)
      Y.Ezoe, et al.
    • Organizer
      Optical MEMS
    • Place of Presentation
      Sapporo
    • Year and Date
      2010-08-12
  • [Presentation] X-Ray Imaging Test for a Single-stage MEMS X-Ray Optical System2010

    • Author(s)
      I.Mitsuishi, et al.
    • Organizer
      Optical MEMS
    • Place of Presentation
      Sapporo
    • Year and Date
      2010-08-11
  • [Presentation] LIGAプロセスを用いた人工衛星搭載用X線望遠鏡Niミラーチップの製作に関する研究2010

    • Author(s)
      洞出光洋, その他
    • Organizer
      立命館大学SRセンター報告会
    • Place of Presentation
      京都
    • Year and Date
      2010-06-12
  • [Presentation] 宇宙X線望遠鏡への応用2010

    • Author(s)
      江副祐一郎
    • Organizer
      JSPS結晶成長の科学と技術161委員会
    • Place of Presentation
      仙台(招待)
    • Year and Date
      2010-05-21
  • [Remarks] その他に出願中の特許3件

  • [Patent(Industrial Property Rights)] X線光学系2010

    • Inventor(s)
      江副祐一郎, ほか
    • Industrial Property Rights Holder
      江副祐一郎, ほか
    • Industrial Property Number
      特許出願2010-179236
    • Filing Date
      20100800
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 中性子光学系2010

    • Inventor(s)
      江副祐一郎, ほか
    • Industrial Property Rights Holder
      江副祐一郎, ほか
    • Industrial Property Number
      特許出願2010-236859
    • Filing Date
      20101000

URL: 

Published: 2012-07-19  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi