2009 Fiscal Year Annual Research Report
光周波数コム光源を用いた3次元顕微鏡の分解能向上と計測の高速化
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20760031
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| Research Institution | Nagaoka University of Technology |
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Principal Investigator |
塩田 達俊 Nagaoka University of Technology, 産学融合トップランナー養成センター, 産学融合特任准教授 (10376858)
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| Keywords | 光計測 / 3次元顕微鏡 / 光周波数コム |
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| Research Abstract |
物体の3次元形状を高速かつ精密に計測する技術の開発が、製品検査・医療・生命科学などの多くの分野から期待されている。本課題ではこの要求に役立つ3次元動画顕微鏡を開発した。本計測器は光周波数コムを光源とした光学干渉計による3次元形状を観測する手法であり、従来の白色光源を用いた手法とは全く異なる。具体的には、ミクロン精度の3次元像を観察できる計測器を実現した。
具体的には、光周波数コム光源を非線形ファイバに通して、スーパーコンティニューム光として発生させた。光源の帯域が広いほど計測の空間分解能は向上するためにスーパーコンティニューム光の帯域拡大を図った。
非線形ファイバを含み光パルスシンセサイザによる任意波形生成システムを光源とする実験系を組み、効率よく広帯域なスーパーコンティニューム光が得られる条件を確定した。
3nm程度であった種光源のスペクトル帯域は、上記システムにより80nm程度まで拡大することがわかった。このとき、分解能は35micronとなった。
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