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2008 Fiscal Year Annual Research Report

フェムト秒レーザー誘起ナノショックによる金属状態シリコン高圧相の創製

Research Project

Project/Area Number 20760034
Research InstitutionOsaka University

Principal Investigator

佐野 智一  Osaka University, 大学院・工学研究科, 講師 (30314371)

Keywordsフェムト秒レーサー / 衝撃波 / シリコン / 構造相転移 / 高圧相 / 非平衡相 / 準安定相
Research Abstract

本研究の目的は、フェムト秒レーザー誘起ナノショックによって金属状態のシリコン高圧相を誘起・凍結させ、シリコンへのフェムト秒レーザーパルス照射のみによって金属シリコンを創製することである。シリコン金属相は静水圧縮下および衝撃圧縮下では存在するが、大気圧下に合成された例は無い。しかしながら、圧力解放時の冷却速度の極めて速いフェムト秒レーザー誘起ナノショックを用いることによって、シリコン金属相を準安定相として大気圧下に保持することが可能であると推察される。本年度は、高強度フェムト秒レーザーを照射したシリコンの結晶構造を、X線を用いて調べた。ノンドープ単結晶シリコン(純度11N)の(100)面に対して垂直にフェムト秒レーザー(波長800nm、パルス幅130fs、パルスエネルギー7mJ、強度2×1015 W/cm2)を1点あたり1パルス照射し、照射部分の結晶構造をXRDによって解析した。XRD解析はSPring-8のBL13XUにて行った。その結果、レーザー照射部にはシリコンの高圧相であるb-Sn,Imma,sh構造と、圧力解放過程に現れる準安定相であるBC8構造が存在することがわかった。従来の圧縮法ではシリコン高圧相は圧力下では存在するが圧力解放によって低圧相および準安定相に構造変化し、高圧相は残存しなかった。フェムト秒レーザー駆動衝撃波によって、初めてシリコン高圧相を常圧下に取り出すことが出来た。

  • Research Products

    (8 results)

All 2009 2008

All Journal Article (2 results) (of which Peer Reviewed: 2 results) Presentation (6 results)

  • [Journal Article] Quenching of high-pressure phases of silicon using femtosecond laser-driven shock wave2008

    • Author(s)
      M. Tsujino, T. Sano, N. Ozaki, O. Sakata, M. Okoshi, N. Inoue, R. Kodama, and A. Hirose
    • Journal Title

      The Review of Laser Engineering Supplem ental Volume

      Pages: 1218-1221

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] フェムト秒レーザー駆動衝撃波によるシリコン高圧相の凍結2008

    • Author(s)
      辻野雅之, 佐野智一, 尾崎典雅, 坂田修身, 大越昌幸, 井上成美, 見玉了祐, 廣瀬明夫
    • Journal Title

      第14回エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術シンポジウム(Mate2008)予稿集

      Pages: 311-314

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Quenching/Synthesis of Nonequilibrium/Metastable High-Pressure Phases of Condensed Matter using Femtosecond Laser-driven Shock Compression2009

    • Author(s)
      T. Sano and A. Hirose
    • Organizer
      Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing XIV, Lasers and Applications in Science and Engineering, Photonics West 2009
    • Place of Presentation
      San Jose, CA, USA
    • Year and Date
      2009-01-27
  • [Presentation] フェムト秒レーザー衝撃波を負荷したシリコンの高ひずみ欠陥2008

    • Author(s)
      辻野雅之, 佐野智一, 尾崎典雅, 坂田修身, 木村滋, 大越昌幸, 井上成美, 兒玉了祐, 廣瀬明夫
    • Organizer
      2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      中部大学(愛知)
    • Year and Date
      20080000
  • [Presentation] Deformation of Femtosecond Laser Shock-Loaded Silicon2008

    • Author(s)
      M. Tsujino, T. Sano, N. Ozaki, R. Kodama, A. Hirose, O. Sakata, S. Kimura, S. Takeda, M. Okoshi, and N. Inoue
    • Organizer
      8th International Welding Symposium (8WS)
    • Place of Presentation
      京都
    • Year and Date
      2008-11-17
  • [Presentation] Femtosecond laser-driven shock deformation of single crystal silicon2008

    • Author(s)
      M. Tsujino, T. Sano, N. Ozaki, O. Sakata, M. Okoshi, N. Inoue, R. Kodama, and A. Hirose
    • Organizer
      Materials Science & Technology 2008 Conference and Exhibition
    • Place of Presentation
      Pittsburgh, Pennsylvania, USA
    • Year and Date
      2008-10-06
  • [Presentation] Femtosecond laser-driven shock synthesis of high-pressure phases of silicon2008

    • Author(s)
      M. Tsujino, T. Sano, N. Ozaki, O. Sakata, M. O koshi, N. Inoue, R. Kodama, and A. Hirose
    • Organizer
      6th International Conference on Photo-Excited Processes and Applications (ICPEPA 2008)
    • Place of Presentation
      札幌
    • Year and Date
      2008-09-10
  • [Presentation] フェムト秒レーザーによるシリコン高圧相の合成2008

    • Author(s)
      辻野雅之, 佐野智一, 尾崎典雅, 坂田修身, 大越昌幸, 井上成美, 見玉了祐, 廣瀬明夫
    • Organizer
      溶接学会平成20年度春季全国大会
    • Place of Presentation
      ハイアット・リージェンシー・オーサカ
    • Year and Date
      2008-04-09

URL: 

Published: 2010-06-11   Modified: 2016-04-21  

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