プラズマ中光捕捉微粒子を用いたシース電場の時空間構造揺らぎ形成機構の解明

2020 Fiscal Year Comments on the Screening Results

• Project/Area Number: 20H00142
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Review Section: Medium-sized Section 14:Plasma science and related fields
• Research Institution: Kyushu University
• Principal Investigator: 白谷 正治 九州大学, システム情報科学研究院, 教授 (90206293)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 小林 達哉 核融合科学研究所, 研究部, 准教授 (30733703) ; 布村 正太 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 上級主任研究員 (50415725) ; 石川 健治 名古屋大学, 低温プラズマ科学研究センター, 教授 (60417384) ; 鎌滝 晋礼 九州大学, システム情報科学研究院, 准教授 (60582658) ; 富田 健太郎 北海道大学, 工学研究院, 准教授 (70452729)
• Project Period (FY): 2020-04-01 – 2024-03-31

Outline of Opinions Expressed in the Review Results

３次元集積回路などで重要な超高アスペクト比微細加工技術の構築を目的に、プラズマプロセスの過程でナノ構造レベルの揺らぎをもたらすイオンの指向性揺らぎとその主要因と考えられるシース電場の時空間構造の関係を解明するとともに、それらの知見に基づいて揺らぎを低減・制御する方法論を開拓する。
光捕捉微粒子によりシース近傍での電界の揺れを計測する方法論の開拓は、ナノ構造の揺らぎの形成過程と制御の可能性を追求する学術性を内包するとともに、微粒子プラズマ科学の深化と有用性や実用性を向上させる研究課題である。本研究の推進により、産業競争力に直結する半導体製造技術の精緻化・効率化に大きく貢献することが期待される。