光コム次元変換光学とその場自律校正法の創出によるサブアトム級３次元超精密計測

2020 Fiscal Year Comments on the Screening Results

• Project/Area Number: 20H00211
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Review Section: Medium-sized Section 18:Mechanics of materials, production engineering, design engineering, and related fields
• Research Institution: Tohoku University
• Principal Investigator: Gao Wei 東北大学, 工学研究科, 教授 (70270816)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 清水 裕樹 北海道大学, 工学研究院, 教授 (70606384) ; 松隈 啓 東北大学, 工学研究科, 准教授 (90728370)
• Project Period (FY): 2020-04-01 – 2024-03-31

Outline of Opinions Expressed in the Review Results

本研究は、従来より検出精度が2桁高い10pm級の精密計測を目標に、新しい形状計測基盤の確立を狙う。具体的手法として、不等ピッチ絶対グリッド、および色収差レンズの分光作用を用いて、計測点の三次元XYZ軸の絶対位置情報を検出し、そのあとで光周波数スケールコムに次元変換しGPSで補正する。
サブナノメートル級の加工精度を検証するために、さらに超高精度な計測法を光コム光学に基づき開発する先進的な研究課題であり、挑戦的であるだけでなく、計測学への貢献度も高いと考えられる。