2022 Fiscal Year Annual Research Report
集積化マイクロデバイスを用いたナノすきま潤滑の素過程の解明
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20H00214
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| Research Institution | Nagoya University |
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Principal Investigator |
福澤 健二 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (60324448)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
伊藤 伸太郎 名古屋大学, 工学研究科, 准教授 (50377826)
東 直輝 名古屋大学, 工学研究科, 助教 (50823283)
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| Project Period (FY) |
2020-04-01 – 2023-03-31
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| Keywords | ナノトライボロジー / マイクロ流体デバイス |
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| Outline of Annual Research Achievements |
材料・加工技術の進歩に対応して，摺動すきまはμmからnmオーダへと微小化が要請されているが，微小すきまゆえに計測は困難で，ナノすきま潤滑技術は確立されていない．本研究では，ナノすきまでの流体潤滑の素過程解明のための基盤的知見を得るために，マイクロマシン技術を用いてしゅう動部・アクチュエータを集積化した平行平面摺動系を構築することを目的としてきた．本目的の達成には，以下の，マイクロマシン技術を用いた集積化潤滑計測デバイスの構築，エリプソメトリー顕微鏡によるナノ摺動すきま計測，ナノしゅう動すきまの流れ計測の三つの要素技術が必要である，本年度は，それぞれの要素技術の確立について，以下のように研究を進めた．
・マイクロマシン技術を用いた集積化潤滑計測デバイスの構築：前年度までに，作製法の確立と原理確認を達成した．本デバイスを用いた粘度計測を試み，原理確認に成功した．
・エリプソメトリー顕微鏡によるナノ摺動すきま計測：試料に光を照射し，反射光の偏光状態の変化からすきまを得る偏光解析に基づいたエリプソメトリー顕微鏡について，潤滑計測デバイスと同様のマイクロメートル領域のしゅう動面についてナノしゅう動すきまの可視化が可能であることを確認できた．
・ナノしゅう動すきまの流れ計測：蛍光分子を用いた流れ場計測について，ナノすきま流路を有するマイクロ流体デバイスを用いて原理確認を試みた．原理的に可能であることを確認できた．
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| Research Progress Status |
令和4年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
令和4年度が最終年度であるため、記入しない。
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