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2022 Fiscal Year Annual Research Report

Quantum state control with advanced optical technique for spin defects in silicon carbide

Research Project

Project/Area Number 20H00355
Research InstitutionNational Institutes for Quantum Science and Technology

Principal Investigator

大島 武  国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 高崎量子応用研究所 量子機能創製研究センター, センター長 (50354949)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 黒木 伸一郎  広島大学, ナノデバイス研究所, 教授 (70400281)
波多野 睦子  東京工業大学, 工学院, 教授 (00417007)
Project Period (FY) 2020-04-01 – 2023-03-31
Keywords結晶工学 / スピン欠陥 / 光物性 / 量子センシング
Outline of Annual Research Achievements

炭化ケイ素(SiC)中のシリコン空孔(Vsi)に着目し、粒子線描画技術(MeV級エネルギーのイオンをマクロメートル径に集束)を用いて任意位置・深さにVsiを形成し、光検出磁気共鳴(ODMR)を用いた温度計測及び磁場計測を行った。
2022年度はSiC/Si貼り合わせ構造作製プロセス、貼り合わせ試料などへの粒子線描画(PBW)によるVsi導入を継続して実施した。Si側にフォトダイオード構造を形成した貼り合わせ基板中の任意位置に形成したVsiに対して、室温での共焦点蛍光顕微鏡観察及びODMR測定を行たところ、ODMRシグナルが観測され、貼り合わせ基板においてもVsiによる量子センシングが可能であることを見出した。
ODMRの高感度化に関しては、2021年度に発見した基底状態と励起状態でODMRを発生させる高周波を同時に印加することで、本来は温度依存性を持たない基底状態のODMRで温度依存性を計測する手法(SRODMR)を発見したが、2022年度は温度と磁場の同時に計測するスピン操作プロトコルの開発を行った。SiCデバイス中にPBWによって局所的に形成したVsiに対して、3つのパルスジェネレータを用いて、電子スピンの共鳴状態を制御することで、一連の測定で基底(磁場計測)及び励起(温度計測)準位の両方の共鳴の情報を取得可能な系を構築した。SiCダイオード中にPBWを用いることで任意位置にVsiを形成し、形成したVsiを用いてダイオードに流れる順方向電流が誘起する磁場計測及び外部磁場印加によるダイオード中の磁場を温度計測と同時に行った。その結果、開発した手法により磁場と温度の同時計測を行うことで、従来法に比べ1/5程度の測定時間で計測が可能となることを見出した。

Research Progress Status

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (23 results)

All 2023 2022 Other

All Int'l Joint Research (4 results) Journal Article (6 results) (of which Int'l Joint Research: 3 results,  Peer Reviewed: 6 results,  Open Access: 1 results) Presentation (12 results) (of which Int'l Joint Research: 6 results,  Invited: 7 results) Remarks (1 results)

  • [Int'l Joint Research] University of Wurzburg/University of Stuttgart(ドイツ)

    • Country Name
      GERMANY
    • Counterpart Institution
      University of Wurzburg/University of Stuttgart
  • [Int'l Joint Research] University of Melbourne/RMIT University/Adelaide University(オーストラリア)

    • Country Name
      AUSTRALIA
    • Counterpart Institution
      University of Melbourne/RMIT University/Adelaide University
  • [Int'l Joint Research] Linkoping University(スウェーデン)

    • Country Name
      SWEDEN
    • Counterpart Institution
      Linkoping University
  • [Int'l Joint Research] University of Chicago/Stanford University(米国)

    • Country Name
      U.S.A.
    • Counterpart Institution
      University of Chicago/Stanford University
  • [Journal Article] Optically detected magnetic resonance of silicon vacancies in 4H-SiC at elevated temperatures toward magnetic sensing under harsh environments2023

    • Author(s)
      Motoki Shu、Sato Shin-ichiro、Saiki Seiichi、Masuyama Yuta、Yamazaki Yuichi、Ohshima Takeshi、Murata Koichi、Tsuchida Hidekazu、Hijikata Yasuto
    • Journal Title

      Journal of Applied Physics

      Volume: 133 Pages: 154402~154402

    • DOI

      10.1063/5.0139801

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Two-Emitter Multimode Cavity Quantum Electrodynamics in Thin-Film Silicon Carbide Photonics2023

    • Author(s)
      Lukin Daniil M.、Guidry Melissa A.、Yang Joshua、Ghezellou Misagh、Deb Mishra Sattwik、Abe Hiroshi、Ohshima Takeshi、Ul-Hassan Jawad、Vuckovic Jelena
    • Journal Title

      Physical Review X

      Volume: 13 Pages: 011005-1~17

    • DOI

      10.1103/PhysRevX.13.011005

    • Peer Reviewed / Open Access / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Electrical detection of nuclear spins via silicon vacancies in silicon carbide at room temperature2022

    • Author(s)
      Nishikawa Tetsuri、Morioka Naoya、Abe Hiroshi、Morishita Hiroki、Ohshima Takeshi、Mizuochi Norikazu
    • Journal Title

      Applied Physics Letters

      Volume: 121 Pages: 184005~184005

    • DOI

      10.1063/5.0115928

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Modified divacancies in 4H-SiC2022

    • Author(s)
      Son N. T.、Shafizadeh D.、Ohshima T.、Ivanov I. G.
    • Journal Title

      Journal of Applied Physics

      Volume: 132 Pages: 025703~025703

    • DOI

      10.1063/5.0099017

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Growth of vanadium doped semi-insulating 4H-SiC epilayer with ultrahigh-resistivity2022

    • Author(s)
      Kojima Kazutoshi、Sato Shin-ichiro、Ohshima Takeshi、Kuroki Shin-Ichiro
    • Journal Title

      Journal of Applied Physics

      Volume: 131 Pages: 245107~245107

    • DOI

      10.1063/5.0095457

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Spin-Optical Dynamics and Quantum Efficiency of a Single V1 Center in Silicon Carbide2022

    • Author(s)
      Morioka Naoya、Liu Di、Soykal Oney O.、Gediz Izel、Babin Charles、Stohr Rainer、Ohshima Takeshi、Son Nguyen Tien、Ul-Hassan Jawad、Kaiser Florian、Wrachtrup Jorg
    • Journal Title

      Physical Review Applied

      Volume: 17 Pages: 054005-1~15

    • DOI

      10.1103/PhysRevApplied.17.054005

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Presentation] 炭化ケイ素中の量子欠陥形成と量子特性評価2023

    • Author(s)
      大島武
    • Organizer
      2023年第70回応用物理学会春季学術講演会
    • Invited
  • [Presentation] Creation of spin defects in silicon carbide and their applications for quantum sensing2023

    • Author(s)
      Takeshi Ohshima
    • Organizer
      International Workshop of Spin/Quantum Materials and Devices (IWSQMD)
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] 固体中スピン欠陥を活用した量子センシング2023

    • Author(s)
      大島武
    • Organizer
      国際ナノテクノロジー総合展・技術会議特別シンポジウム「ナノテクで加速する量子未来社会」
    • Invited
  • [Presentation] SiC中のVSiによる同時共鳴法を用いた磁場・温度同時計測手法の最適化2022

    • Author(s)
      田中友晃,山崎雄一,児島一聡,大島武
    • Organizer
      応用物理学会先進パワー半導体分科会第9回講演会
  • [Presentation] 基底・励起準位同時共鳴ODMRを用いたシリコン空孔量子センサ高感度温度計測2022

    • Author(s)
      山﨑雄一, 増山雄太, 児島一聡, 大島武
    • Organizer
      応用物理学会先進パワー半導体分科会第9回講演会
  • [Presentation] Creation of Spin Defects in Silicon Carbide by Particle Irradiation for Quantum Applications2022

    • Author(s)
      Takeshi Ohshima
    • Organizer
      The 8th International Symposium on Advanced Science and Technology of Silicon Materials (JSPS Si Symposium)
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] 炭化ケイ素(SiC)の量子技術応用の可能性-スピン欠陥形成と量子センシング応用-2022

    • Author(s)
      大島武
    • Organizer
      2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • Invited
  • [Presentation] 高エネルギー電子線照射による4H-SiC中シリコン空孔の高濃度形成および磁気センシング感度評価2022

    • Author(s)
      元木秀,佐藤真一郎, 佐伯誠一, 村田晃一, 増山雄太, 山﨑雄一, 土方泰斗, 大島武
    • Organizer
      2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] Temperature sensitivity improvement of SiC-VSi-based quantum sensor by simultaneous-resonated optically detected magnetic resonance2022

    • Author(s)
      Y. Yamazaki, Y. Masuyama, K. Kojima, T. Ohshima
    • Organizer
      9th International Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM2022)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Creation on Silicon Vacancy in Silicon Carbide and its Application for Quantum Sensing2022

    • Author(s)
      T. Ohshima, Y. Yamazaki, T. Tanaka
    • Organizer
      The 20th International Symposium on the Physics of Semiconductors and Applications (ISPSA 2022)
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Spin Defects in Silicon Carbide and their Applications for Quantum Technology2022

    • Author(s)
      Takeshi Ohshima
    • Organizer
      2022 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (AWAD)
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Magnetic Sensitivity of Silicon Vacancies in 4H-SiC at Different Temperatures2022

    • Author(s)
      S. Motoki, S.-I. Sato, Y. Masuyama, Y. Yamazaki, S. Saiki, Y. Hijikata, T. Ohshima
    • Organizer
      Conference on Defects in Solids for Quantum Technologies
    • Int'l Joint Research
  • [Remarks] 量子科学技術研究開発機構 高崎量子応用研究所 量子機能創製研究センター 量子センシングプロジェクト

    • URL

      https://www.qst.go.jp/site/semiconductor-e/

URL: 

Published: 2023-12-25  

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