Research Project
Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
革新的な次世代記録デバイスとして期待されているレーストラックメモリを低記録電力化および簡素デバイス構造化するために，本研究室では強磁性・強誘電薄膜を用いる事を提案している．その薄膜の性能（電界印加による磁化反転）評価には，磁気力顕微鏡（MFM）と静電気力顕微鏡（EFM）を用いて磁区と分域構造を評価する事が有効であるが，市販の探針では，その評価に適するか不明であった．本研究課題では，種々の条件でCoCrPt系金属磁性薄膜をSi探針母材に成膜し，種々の飽和磁化及び保磁力を有する探針を作製し，強磁性・強誘電薄膜の磁区及び分域構造を高分解能で観察することが可能な最適な特性を有する探針の選定に成功した．
磁気計測、磁気イメージング
これまで，MFMとEFMを用いて強磁性・強誘電薄膜の評価を行う際には，市販の磁性探針が使用されていたが，種類が極めて少なく，かつ磁気特性も不明なものが多く，磁気特性が開示されていても，保磁力や飽和磁化が小さい，保磁力が大きいが導電性が無い，など，強磁性・強誘電薄膜の評価には適さなかった．本研究課題で作製したCoCrPt系金属磁性薄膜を成膜した探針は，MFMにおいては磁区構造の明瞭な観察が可能で，EFMにおいても分域構造の極性を正確に測定する事が可能な探針であるとともに，種々の高機能薄膜の高分解能観察に適した特性への調整も可能と考えられることから，今後の次世代デバイスの開発に貢献する事ができる．
