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2021 Fiscal Year Annual Research Report

Mechanical metamaterial design theory and its application to wearable vibration energy harvesting technology

Research Project

Project/Area Number 20H02095
Research InstitutionGunma University

Principal Investigator

鈴木 孝明  群馬大学, 大学院理工学府, 教授 (10378797)

Project Period (FY) 2020-04-01 – 2023-03-31
Keywordsマイクロ・ナノデバイス / マイクロナノメカトロニクス / MEMS / メタマテリアル / 振動発電
Outline of Annual Research Achievements

本研究では、申請者の独自微細加工技術である3Dリソグラフィ法を用いて微細構造を組み合わせたメカニカルメタマテリアル構造を製作すると共に、その構造を用いて、デバイス外部環境の機械エネルギーをデバイス内部の振動、変形エネルギーに効率的に変換する圧電型振動発電デバイスを開発する。具体的には、3つの研究項目として、①メカニカルメタマテリアル構造の検討、②振動発電デバイスの発電特性評価、③ウエアラブル応用検討からなる。
本年度は、研究2年目として、初年度に開始した①と②について、2Dメタマテリアル構造を対象とした解析試作を通して設計技術構築を進めるとともに、③の実環境を想定した発電評価方法の検討を開始した。
研究項目①については、昨年度の研究の結果、比較的構造がシンプルな2Dモデル(蝶型構造)の寸法最適化がある程度得られたことから、最終年度に向けて、徐々に複雑な2Dモデルの設計原理へと展開することを試みた。研究項目②については、引き続き、メカニカルメタマテリアル構造を含む振動発電デバイスとして、複数のデバイス形状(ユニモルフ型、バイモルフ型、ダイヤフラム型など)の検討を継続した。特に、昨年度導入した高電圧アンプを用いた分極処理方法の検討を進めて、圧電膜の成膜再現性の向上を検討した。研究項目③については、人の歩行振動による発電特性検証を開始し、小型無線モーションレコーダを用いて歩行振動を計測し、加振器によって、デバイスを実環境に近い状態で振動評価した。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

本研究は、3つの研究項目として、①メカニカルメタマテリアル構造の検討、②振動発電デバイスの発電特性評価、③ウエアラブル応用検討からなる。本年度は、昨年度に続き、①と②について、2Dメタマテリアル構造を対象とした弾性体の解析試作評価と、発電デバイスへの適用について検討するとともに、③の応用検討を開始した。
研究項目①については、複数のモデルを使った有限要素法解析(構造解析、モーダル解析)と実験による試作評価をさらに進めることで、メカニカルメタマテリアル構造の設計原理を抽出、検討してきた。とくに本年度は、2Dモデルと3Dモデルの加工法検証が進み、解析と実験での検証が進んだ結果、複数の書籍(分筆)の出版に至った。研究項目②については、メカニカルメタマテリアル構造を含む振動発電デバイスとして、複数のデバイス形状(ユニモルフ型、バイモルフ型、ダイヤフラム型など)の検討を進めた結果、発電するフレキシブルプリント基板という新たな概念の創出に至り、その概念検証を開始した。また、研究項目③については、人の歩行により生じる振動波形の計測・解析を開始し、実験・評価系の構築に必要な、人の歩行振動を実験装置上で再現する振動パラメータの抽出ができた。
なお、当初予定の研究期間中に、感染症の濃厚接触者や罹患者が研究グループに複数発生したため、実験が進められなかった期間が生じたが、2年度目の研究経費を繰越申請して、研究スケジュールを組み直すことで、当初予定の計画を本研究期間中に終えることができた。また、その組み直しの実験のなかで、新たな発電方式に対する知見が得られ、論文化にも至っている。

Strategy for Future Research Activity

当該研究課題の最終年度となる次年度は、研究項目②と③を中心に、発電デバイスの特性評価と応用について、検討を進める。
研究項目②については、引き続き、メカニカルメタマテリアル構造を含む振動発電デバイスとして、複数のデバイス形状(ユニモルフ型、バイモルフ型、ダイヤフラム型など)の検討を継続する。特に、実用性を考慮した検討として、環境振動の方向とデバイスの主とする振動方向にずれが生じた場合の発電特性の評価と、さらなる新規構造の素子形状の提案による、角度ずれの対応策について検討する。
研究項目③については、人の歩行振動による発電特性検証を継続する。特に、人体の運動のランダム性として、繰り返し時の加速度のばらつきや、加速度の周波数の変化などを考慮に入れた実験系を構築し、ウエアラブルデバイスとしての有用性を検証する。

  • Research Products

    (26 results)

All 2022 2021 Other

All Journal Article (1 results) (of which Peer Reviewed: 1 results) Presentation (21 results) (of which Int'l Joint Research: 3 results) Book (3 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Triboelectric Nanogenerator with Microstructure Fabricated by 3D Lithography at Contact Interface2021

    • Author(s)
      Yanagita Kosuke、Iida Taiki、Honma Hiroaki、Hashiguchi Gen、Toshiyoshi Hiroshi、Suzuki Takaaki
    • Journal Title

      IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines

      Volume: 141 Pages: 254~259

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.141.254

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Power-Harvesting Flexible Printed Circuit Board with Built-in Mechanical Metamaterial2022

    • Author(s)
      Mikito Kitazawa, Vivek ANAND Menon, Hiroaki Honma, Gen Hashiguchi, Hiroshi Toshiyoshi, Takaaki Suzuki
    • Organizer
      The 35th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] フォトリソグラフィを用いて作製したUV-PDMS製マイクロ構造の形状評価2022

    • Author(s)
      関口天,市毛亮,上野秀貴,鈴木孝明
    • Organizer
      日本機械学会 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会
  • [Presentation] 細胞脱落を抑制する微細構造ウェルからなる単一細胞マイクロアレイ2022

    • Author(s)
      佐野涼太,小山健太朗, 福岡なるみ,上野秀貴,山村昌平,鈴木孝明
    • Organizer
      日本機械学会 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会
  • [Presentation] Triboelectric Nanogenerator with Random Nano-Microstructures Fabricated by Metal-PDMS Composites and Plasma Etching at Contact Interface2021

    • Author(s)
      Kosuke Yanagita, Yuki Sorimachi, Hiroaki Honma, Gen Hashiguchi, Hiroshi Toshiyoshi, Takaaki Suzuki
    • Organizer
      Materials Research Meeting 2021
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Single Cell Microarray with Overhang Wells for Analyzing Calcium Response2021

    • Author(s)
      Ryota Sano, Kentaro Koyama, Narumi Fukuoka, Hidetaka Ueno, Shohei Yamamura, Takaaki Suzuki
    • Organizer
      The 25th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 液の流れによる細胞脱落を抑えたマイクロアレイ2021

    • Author(s)
      佐野涼太,小山健太朗, 福岡なるみ,上野秀貴,山村昌平,鈴木孝明
    • Organizer
      日本機械学会関東支部群馬ブロック研究・技術交流会2021
  • [Presentation] マイクロデバイス応用に向けた光硬化性シリコーンゴムの微細加工法2021

    • Author(s)
      関口天,市毛亮,上野秀貴,鈴木孝明
    • Organizer
      日本機械学会関東支部群馬ブロック研究・技術交流会2021
  • [Presentation] 3Dリソグラフィ法を用いたマイクロアーチ構造アレイの作製とそのバイオ応用2021

    • Author(s)
      小山健太朗, 佐野涼太,福岡なるみ,鈴木孝明
    • Organizer
      日本機械学会関東支部群馬ブロック研究・技術交流会2021
  • [Presentation] 接触界面に微小入力荷重に対応した微細構造を有するトライボ発電デバイス2021

    • Author(s)
      柳田幸祐,山吉慧,本間浩章,橋口原,年吉洋,鈴木孝明
    • Organizer
      日本機械学会関東支部群馬ブロック研究・技術交流会2021
  • [Presentation] 圧電ポリマーを用いた発電フレキシブルプリント基板のためのメタマテリアル弾性層の設計2021

    • Author(s)
      北澤幹人, Vivek MENON, 本間浩章, 橋口原, 年吉洋, 鈴木孝明
    • Organizer
      日本機械学会 第12回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
  • [Presentation] 単一細胞マイクロアレイの初期細胞固定率を向上するウェル構造の設計2021

    • Author(s)
      小山 健太朗, 佐野涼太, 福岡なるみ, 鈴木孝明
    • Organizer
      日本機械学会 第12回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
  • [Presentation] 微小入力エネルギに対応したマイクロ界面構造を有するトライボ発電デバイス2021

    • Author(s)
      柳田幸祐, 飯田泰基, 本間浩章, 橋口原, 年吉洋, 鈴木孝明
    • Organizer
      日本機械学会 第12回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
  • [Presentation] UV-PDMSの微細加工における露光後硬化条件の定量的評価2021

    • Author(s)
      関口天, 市毛亮, 上野秀貴, 鈴木孝明
    • Organizer
      日本機械学会 第12回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
  • [Presentation] マイクロ流体チップと一体成型可能な3Dインレット構造の高耐圧化2021

    • Author(s)
      青木悠里, 田村隆大, 小此木孝仁, 鈴木 孝明
    • Organizer
      日本機械学会 第12回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
  • [Presentation] 単一細胞マイクロアレイのウェル形状最適化とカルシウム応答解析への応用2021

    • Author(s)
      佐野涼太, 小山健太朗, 福岡なるみ, 上野秀貴, 山村昌平, 鈴木孝明
    • Organizer
      電気学会 第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  • [Presentation] UV-PDMSのフォトリソグラフィによる微細加工特性の評価2021

    • Author(s)
      関口天,市毛亮,上野秀貴,鈴木孝明
    • Organizer
      日本機械学会 2021年度年次大会
  • [Presentation] 複数の液排出構造を備えた細胞マイクロウェルアレイの加工と評価2021

    • Author(s)
      小山健太朗, 佐野涼太,福岡なるみ,鈴木孝明
    • Organizer
      電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会
  • [Presentation] 三次元リソグラフィを用いて作製した単一細胞固定マイクロアレイのサイズ選択性2021

    • Author(s)
      佐野涼太,小山健太朗, 福岡なるみ,上野秀貴、山村昌平, 鈴木孝明
    • Organizer
      電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会
  • [Presentation] マイクロスケールのアンカー効果によるポリマーMEMS材料の接合強度への影響2021

    • Author(s)
      丸山博史, 青木将也, 鈴木孝明
    • Organizer
      電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会
  • [Presentation] 染色体を伸長解析するバイオチップの微細加工と応用2021

    • Author(s)
      鈴木孝明
    • Organizer
      新技術説明会:先端ものづくり技術
  • [Presentation] 3次元微細形状を有するポリマー振動発電デバイスの開発2021

    • Author(s)
      鈴木孝明
    • Organizer
      サイエンス&テクノロジー株式会社 セミナー「振動発電技術の開発動向」
  • [Book] メタマテリアルの設計、作製と新材料、デバイス開発への応用2022

    • Author(s)
      執筆者:54名、技術情報協会(分筆:鈴木孝明、第8章、第2節)
    • Total Pages
      508
    • Publisher
      技術情報協会
    • ISBN
      978-4-86104-876-0
  • [Book] 将来加工技術の展望2022

    • Author(s)
      日本学術振興会将来加工技術第136委員会/編 (分筆:鈴木孝明)
    • Total Pages
      160
    • Publisher
      日本工業出版株式会社
    • ISBN
      978-4-8190-3401-2
  • [Book] 環境発電ハンドブック 第2版2021

    • Author(s)
      鈴木 雄二、秋永 広幸、神野 伊策、篠原 真毅、竹内 敬治、八馬 弘邦、舟橋 良次、宮﨑 康次(分筆:鈴木孝明、第4編、第1章、第4節)
    • Total Pages
      528
    • Publisher
      エヌ・ティー・エス
    • ISBN
      978-4-86043-748-0
  • [Remarks] 群馬大学 マイクロナノ工学研究室のサイト

    • URL

      https://mems.mst.st.gunma-u.ac.jp/

URL: 

Published: 2023-12-25  

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