2020 Fiscal Year Annual Research Report
薄膜状電子デバイスの複曲面上実装を実現する微細毛柔軟静電吸着ハンドリングシステム
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20H02112
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| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
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Principal Investigator |
齋藤 滋規 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 教授 (30313349)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
田岡 祐樹 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 助教 (50845766)
武田 行生 東京工業大学, 工学院, 教授 (20216914)
宝田 亘 東京工業大学, 物質理工学院, 助教 (50467031)
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| Project Period (FY) |
2020-04-01 – 2024-03-31
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| Keywords | 静電吸着 / 生産技術 / 生体模倣 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
本研究の目的は，薄膜状対象物を自在に吸着・離脱可能にする『微細毛柔軟静電吸着ハンドリングシステム』を創製し，従来，取り扱いが困難だった薄膜状対象物の自在ハンドリングを可能にすることにある．具体的には，『微細毛柔軟静電吸着モジュール積層デバイス』および『各デバイスを連結し曲面に対応させる劣駆動閉リンク機構』を実現し，システムを統合・制御することで，フィルム状／シート状の対象物に対して「確実な吸着」と「容易な離脱」の両立を可能にする技術体系を確立することである．
2020年度は，「双極型『ヤモリ型静電チャック』モジュール積層化によるデバイスの大面積化」のための「微細毛柔軟静電吸着デバイス（改良型）の設計・製作・評価」，「フィルム状対象物の表面物性と静電吸着力との関係解明」，「劣駆動閉リンク機構による大面積フィルムハンドリングシステムの開発」を行った．デバイスの試作は，改善したモジュール形状の３Dプリンターによる試作によって，フィルム状対象物の表面物性は，四端子法による表面抵抗率の計測と吸着力の関係解明によって，「劣駆動リンク」に関しては，計算解析と３Dプリンターによる試作品の評価により，研究プロジェクト遂行のための指針を得た．
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
微細毛構造によって表面柔軟性を持つ静電吸着デバイスの設計・製作・性能評価を行った他，対象物の表面抵抗率と吸着力の関係性の解明や，把持対象物の大面積化に向けて劣駆動リンク機構の設計・試作・性能評価を行った．今後，モジュールを積層や劣駆動リンク機構との統合により把持対象物の大面積化を行うことにより，シート状材料のハンドリングにおける把持離脱の条件について物理的な洞察を深める必要がある.
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| Strategy for Future Research Activity |
微細毛柔軟静電吸着ハンドリングシステムの開発に向けて，今後の研究推進の方向性はいくつかある．一つは，モジュールの積層による大面積化に向けて，微細毛をもつ静電吸着デバイスの高精度な試作を可能にする技術の開発である．もう一つは，複曲面の曲率に対応する微細毛静電吸着デバイスの力学モデルの構築による，把持・離脱の条件の解明である．
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Research Products
(2 results)
