• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to project page

2022 Fiscal Year Annual Research Report

薄膜状電子デバイスの複曲面上実装を実現する微細毛柔軟静電吸着ハンドリングシステム

Research Project

Project/Area Number 20H02112
Research InstitutionTokyo Institute of Technology

Principal Investigator

齋藤 滋規  東京工業大学, 環境・社会理工学院, 教授 (30313349)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 武田 行生  東京工業大学, 工学院, 教授 (20216914)
宝田 亘  東京工業大学, 物質理工学院, 助教 (50467031)
田岡 祐樹  東京工業大学, 環境・社会理工学院, 助教 (50845766)
Project Period (FY) 2020-04-01 – 2024-03-31
Keywords静電吸着
Outline of Annual Research Achievements

本研究の目的は、薄膜状対象物を自在に吸着・離脱可能にする『微細毛柔軟静電吸着ハンドリングシステム』を創製し、従来、取り扱いが困難だった薄膜状対象 物の自在ハンドリングを可能にすることにある。具体的には、『微細毛柔軟静電吸着モジュール積層デバイス』および『各デバイスを連結し曲面に対応させる劣 駆動閉リンク機構』を実現し、システムを統合・制御することで、フィルム状/シート状の対象物に対して「確実な吸着」と「容易な離脱」の両立を可能にする 技術体系を確立することである。
2022年度は、「劣駆動閉リンク機構による大面積フィルムハンドリングシステムの開発」及び「複曲面の曲率に対応する微細毛静電吸着デバイスの力学モデルの構築」を中心に研究を実施しした。具体的には、開発した劣駆動閉リンク機構の先端に、微細毛柔軟静電吸着モジュールを取り付け、薄膜の把持と曲面形状への貼り付けを実施し、単純な貼り付け軌道では、貼り付けの際に薄膜にシワができることを明らかにし、劣駆動閉リンク機構や微細毛柔軟静電吸着モジュールの形状や貼り付け機動を検討するための指針を得た。また、微細毛静電吸着デバイスの針先端に回転自由度を与えた際の力学モデルを、トータルエネルギー及び力学的なモデルから解析するための理論的な検証を行い、理論モデル構築のための指針を得た。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

劣駆動閉リンク機構と微細毛柔軟静電吸着モジュールを統合し、産業用ロボットアームを用いた実験により、提案コンセプトの評価・検証を行った。

Strategy for Future Research Activity

微細毛柔軟静電吸着ハンドリングシステムの開発に向けて、今後の研究推進の方向性はいくつかある。曲面貼り付け時にシワが発生しないような劣機動リンク機構及び、微細毛静電吸着モジュールの開発である。また、列駆動リンク機構は大規模な構造等なるため、Authentic機構など構造由来の変形様式を用いた貼り付け機構の検討も実施する。

  • Research Products

    (5 results)

All 2023 2022

All Journal Article (1 results) Presentation (4 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results)

  • [Journal Article] Development of bipolar electrostatic chucks with a compliant beam-array assembly from composite-laminated plates using abrasive water jet2022

    • Author(s)
      Ryo Tomohiro、Taoka Yuki、Hemthavy Pasomphone、Takahashi Kunio、Saito Shigeki
    • Journal Title

      MRS Advances

      Volume: 7 Pages: 923~928

    • DOI

      10.1557/s43580-022-00329-9

  • [Presentation] 大面積薄膜の安定した曲面貼付に向けた弾性梁配列を有する双極型静電吸着デバイスの設計と条件評価大面積薄膜の安定した曲面貼付に向けた弾性梁配列を有する双極型静電吸着デバイスの設計と条件評価2023

    • Author(s)
      吉田周平, 田岡祐樹, 齋藤滋規.
    • Organizer
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会
  • [Presentation] Influence of heatinduced changeable stiffness a t the contact interface o n the gripping force of a bipolar electrostatic chuck2023

    • Author(s)
      Jeremy Gavriel, Yuki Taoka, Shigeki Saito
    • Organizer
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会
  • [Presentation] 高分子薄膜の曲面自在貼付を可能にする帯状柔軟電極を有した双極型静電吸着デバイス2023

    • Author(s)
      江頭正洋, 田岡祐樹, 齋藤滋規.
    • Organizer
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会
  • [Presentation] Influence of the surface conductivity of a polymer film on the attractive force of a bipolar electrostatic chuck2022

    • Author(s)
      Jeremy Gavriel, Yuki Taoka, Shigeki Saito.
    • Organizer
      MRS 2022 Spring
    • Int'l Joint Research

URL: 

Published: 2024-12-25  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi