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2021 Fiscal Year Annual Research Report

Highly Efficient Semiconductor Membrane Lasers toward Drastic Reduction of Data Transmission Energy Cost

Research Project

Project/Area Number 20H02200
Research InstitutionTokyo Institute of Technology

Principal Investigator

西山 伸彦  東京工業大学, 工学院, 教授 (80447531)

Project Period (FY) 2020-04-01 – 2023-03-31
Keywords半導体レーザ / 接合 / 半導体薄膜 / オンチップ光配線
Outline of Annual Research Achievements

2年目となる2021年度において、研究目的 1.メンブレンレーザにおける「最適」な光閉じ込め構造の提案、2.Siナノフィルムを利用した直接接合によるシリコン基板上メンブレンレーザ熱抵抗低減について達成し、従来よりも低いしきい値電流を有するメンブレンレーザの実現、また、環境温度110度までの連続発振の実現を行った。
具体的には、しきい値電流を低減するために従来のλ/4シフトと呼ばれる高光閉じ込め構造をメンブレンレーザの共振器方向に導入すると、そもそもメンブレン構造の光閉じ込めの高さに加わることから閉じ込めが高すぎる結果となり、ホールバーニングという効果によって、素子特性が劣化するという問題があった。これを解決するため、共振器方向の光閉じ込め方向を適切に調整可能な方法であるACPM( asymmetric corrugation-pitch-modulated)回折格子を導入することによって、従来の最低しきい値を更新することに成功した。
それに加え、1年目に達成した新たな接合方法であるBCBを利用しないa-Siナノフィルムアシスト型室温表面活性化接合を利用したメンブレンレーザを実際に作製し、大幅に熱抵抗を低減することによって110度までの室温連続発振を実現するとともに、より高い電流値まで熱飽和なしで動作させることに成功し、結果として高い出力を得た。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

当初の計画で提示した項目をすべて達成しているため

Strategy for Future Research Activity

これまで順調に研究を進めることができているため、継続して取り組むとともに、機械学習用のレーザなど、新たなアプリケーションに向けての探索も行っていきたい

  • Research Products

    (8 results)

All 2022 2021

All Journal Article (2 results) (of which Peer Reviewed: 2 results) Presentation (5 results) (of which Int'l Joint Research: 2 results) Patent(Industrial Property Rights) (1 results)

  • [Journal Article] Reduced Thermal Resistance of Membrane Fabry-Perot Laser Bonded on Si Through Room-Temperature, Surface-Activated Bonding Assisted by a-Si Nano-Film2022

    • Author(s)
      Fang Weicheng、Takahashi Naoki、Ohiso Yoshitaka、Amemiya Tomohiro、Nishiyama Nobuhiko
    • Journal Title

      IEEE Journal of Quantum Electronics

      Volume: 58 Pages: 1~8

    • DOI

      10.1109/JQE.2022.3145870

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Lateral confinement enhanced membrane laser on Si with a buried-ridge-waveguide structure2021

    • Author(s)
      Takahashi Naoki、Fang Weicheng、Ohiso Yoshitaka、Amemiya Tomohiro、Nishiyama Nobuhiko
    • Journal Title

      Journal of the Optical Society of America B

      Volume: 38 Pages: 3340~3340

    • DOI

      10.1364/JOSAB.438329

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] 110C high temperature operation of GaInAsP/Si membrane DFB Laser bonded by a-Si nano-film assisted surface activated bonding2022

    • Author(s)
      W. Fang, N. Takahashi, R. Xue, S. Katsumi, Y. Ohiso, T. Amemiya, N. Nishiyama
    • Organizer
      2022年春季応用物理学会学術講演会
  • [Presentation] リッジ埋め込み導波路構造およびACPM回折格子を導入した GaInAsP半導体薄膜レーザの発振特性2022

    • Author(s)
      高橋 直樹, Fang Weicheng, Xue Ruihao, 勝見 駿斗, 大礒 義孝, 雨宮 智宏, 西山 伸彦
    • Organizer
      2022年春季応用物理学会学術講演会
  • [Presentation] Lateral Optical Confinement Enhanced GaInAsP Membrane Laser on Si for On-chip Optical Interconnection2021

    • Author(s)
      N. Takahashi, W. Fang, Y. Ohiso, T. Amemiya, N. Nishiyama
    • Organizer
      2022 International Semiconductor Laser Conference
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Thermal Resistance Reduction of GaInAsP/Si Membrane Laser bonded by Room Temperature Si-nano-film Assisted Surface Activated Bonding2021

    • Author(s)
      W. Fang, N. Takahashi, Y. Ohiso, W. Wang, T. Amemiya, N. Nishiyama
    • Organizer
      CSW 2021
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Thermal resistance reduction of membrane FP laser bonded by a-Si nano-film assisted surface activated bonding2021

    • Author(s)
      W. Fang, N. Takahashi, Y. Ohiso, T. Amemiya, N. Nishiyama
    • Organizer
      2021年秋季応用物理学会学術講演会
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 非線形変換処理装置2022

    • Inventor(s)
      西山伸彦、高橋直樹、雨宮智宏
    • Industrial Property Rights Holder
      西山伸彦、高橋直樹、雨宮智宏
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      特願2022-061988

URL: 

Published: 2022-12-28  

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