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2022 Fiscal Year Annual Research Report

Highly Efficient Semiconductor Membrane Lasers toward Drastic Reduction of Data Transmission Energy Cost

Research Project

Project/Area Number 20H02200
Research InstitutionTokyo Institute of Technology

Principal Investigator

西山 伸彦  東京工業大学, 工学院, 教授 (80447531)

Project Period (FY) 2020-04-01 – 2023-03-31
Keywords半導体レーザ / 接合 / 半導体薄膜 / オンチップ光配線
Outline of Annual Research Achievements

これまでに、研究目標のうち、1.メンブレンレーザにおける「最適」な光閉じ込め構造の提案、2.Siナノフィルムを利用した直接接合によるシリコン基板上メンブレンレーザ熱抵抗低減については、目標を達成している。最終年度となる2022年度において、3.エネルギーコストを大幅に低減したデータ伝送の実証について、取り組みを行った。その結果、2インチ基板に作製した、光リンクについて、25 Gbpsでの高速なデータ伝送を実現する事に成功した。
具体的には、これまでに実現してきた、共振器方向の光閉じ込め方向を適切に調整可能な方法であるACPM( asymmetric corrugation-pitch-modulated)回折格子と、横方向の閉じ込めを行う埋め込みリッジ構造を導入した半導体レーザとともに、GaInAsP導波路および、GaInAsP量子井戸受光器を集積した基板を作製した。その基板をへき開等をせずに、ウェハプローバーに導入し、光リンクの特性を測定した。その結果室温にて、25 Gbpsでの良好なアイダイアグラムを得ることができた。また、高温特性も向上しているため80 °Cでの10 Gbps信号伝送にも成功した。以上の結果は、論文および国際会議にも採択され、高い評価を得た。以上より、本研究での目的を達成したと言える。今後の将来展望としては、今回はシリコン基板上へのリンクの形成であったが、CMOS電子回路への形成を目指して、プロセス研究を行っていくとともに、他のアプリケーションへの展開を目指す。

Research Progress Status

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (10 results)

All 2022 Other

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results,  Open Access: 2 results) Presentation (6 results) (of which Int'l Joint Research: 3 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Reduced Thermal Resistance of Membrane Fabry-Perot Laser Bonded on Si Through Room-Temperature, Surface-Activated Bonding Assisted by a-Si Nano-Film2022

    • Author(s)
      Fang Weicheng、Takahashi Naoki、Ohiso Yoshitaka、Amemiya Tomohiro、Nishiyama Nobuhiko
    • Journal Title

      IEEE Journal of Quantum Electronics

      Volume: 58 Pages: 1~8

    • DOI

      10.1109/JQE.2022.3145870

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Optical ReLU using membrane lasers for an all-optical neural network2022

    • Author(s)
      Takahashi Naoki、Fang Weicheng、Xue Ruihao、Okada Sho、Ohiso Yoshitaka、Amemiya Tomohiro、Nishiyama Nobuhiko
    • Journal Title

      Optics Letters

      Volume: 47 Pages: 5715~5715

    • DOI

      10.1364/OL.471603

    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] High-temperature and high-efficiency operation of a membrane optical link with a buried-ridge-waveguide bonded on a Si substrate2022

    • Author(s)
      Fang Weicheng、Takahashi Naoki、Horikawa Tsuyoshi、Ohiso Yoshitaka、Xue Ruihao、Katsumi Shunto、Amemiya Tomohiro、Nishiyama Nobuhiko
    • Journal Title

      Optics Express

      Volume: 30 Pages: 34420~34420

    • DOI

      10.1364/OE.468192

    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Presentation] Proposal of ReLU activation function using III-V semiconductor membrane laser for optical neural network2022

    • Author(s)
      N. Takahashi, W. Fang, R. Xue, S. Katsumi, Y. Ohiso, T. Amemiya, N. Nishiyama
    • Organizer
      CLEO-PR
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] High Temperature Operation of Membrane Photonic Integrated Circuits with Buried-Ridge-Waveguide on Si2022

    • Author(s)
      W. Fang, N. Takahashi, T. Horikawa, Y. Ohiso, R. Xue, S. Katsumi, T. Amemiya, N. Nishiyama
    • Organizer
      ISLC2022
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Low threshold current operation of membrane DR laser on Si with buried-ridge waveguide and ACPM grating for On-chip Optical Interconnection2022

    • Author(s)
      N. Takahashi, W. Fang, R. Xue, S. Katsumi, Y. Oiso, T. Amemiya, N. Nishiyama
    • Organizer
      ISLC2022
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 110C high temperature operation of GaInAsP/Si membrane DFB Laser bonded by a-Si nano-film assisted surface activated bonding2022

    • Author(s)
      W. Fang, N. Takahashi, R. Xue, S. Katsumi, Y. Ohiso, T. Amemiya, N. Nishiyama
    • Organizer
      The 69nd JSAP Spring Meeting 2022
  • [Presentation] 光ニューラルネットワークに向けた III-V族半導体薄膜レーザを用いた光活性化関数(ReLU)の提案2022

    • Author(s)
      高橋 直樹, Fang Weicheng, 岡田 祥, 大礒 義孝, 雨宮 智宏, 西山 伸彦
    • Organizer
      第83回 応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] リッジ埋め込み導波路構造およびACPM回折格子を導入した GaInAsP半導体薄膜レーザの発振特性2022

    • Author(s)
      高橋 直樹, Fang Weicheng, Xue Ruihao, 勝見 駿斗, 大礒 義孝, 雨宮 智宏, 西山 伸彦
    • Organizer
      2022年第69回応用物理学会春季学術講演会
  • [Remarks] 西山研究室HP

    • URL

      http://www.opto.ee.e.titech.ac.jp/

URL: 

Published: 2023-12-25  

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