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2022 Fiscal Year Annual Research Report

Design and development of structural-anisotropic three-dimensional phononic crystal toward low thermal conductivity material

Research Project

Project/Area Number 20H02621
Research InstitutionAoyama Gakuin University

Principal Investigator

石河 泰明  青山学院大学, 理工学部, 准教授 (70581130)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 上沼 睦典  奈良先端科学技術大学院大学, 先端科学技術研究科, 准教授 (20549092)
Project Period (FY) 2020-04-01 – 2023-03-31
Keywords熱伝導率 / ナノ構造 / ZnO / 薄膜
Outline of Annual Research Achievements

本研究は、3次元周期的ナノ構造を有したZnO薄膜におけるナノ構造と熱伝導率の関係性を調査するものである。3次元周期的ZnOナノ構造体を作製するプロセスとして、ネガ型レジストSU-8によるナノ構造を有したテンプレートを作製し、間隙に溶液型ZnO前駆体を充填させる。熱伝導率を測定するためには、ナノ構造を有した薄膜材料の試料サイズを1cm×1cm以上にしなければいけなかったが、前年度までの研究成果により試料サイズ1.8cm×1.8cm以上で作製することに成功していた。また、3ω法による3次元周期的ナノ構造を有したZnO薄膜の膜厚方向の熱伝導率測定も実施可能となった。そこで、膜厚方向の熱伝導率を評価しナノ構造導入による熱伝導率への影響を主に調査した。
3ω法による熱伝導率測定を試みたところ、7.8 W/mKと、低い熱伝導率が計測された。一方、同前駆体により作製したZnO薄膜の熱伝導率は17 W/mKであった。更に、ZnO前駆体を充填するプロセスを調整することで、熱伝導率を5.2 W/mKまで低下させられることが明らかとなった。これら結果から、空孔サイズの低減に従った熱伝導率の低下が確認された。同サイズのテンプレートを利用した3次元周期的ナノ構造を有したZnO薄膜においては、横方向の熱伝導率が3.6 W/mKと報告されており、ナノ構造サイズが熱伝導率の異方性に影響していることが示唆される結果となった。

Research Progress Status

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (1 results)

All 2022

All Presentation (1 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results)

  • [Presentation] Development of three-dimensional periodic nanostructured film using SU-8 template and solution-derived ZnO for the thermoelectric materials2022

    • Author(s)
      Naoya Miyajima, Itsuki Nakahara, Yasuaki Ishikawa
    • Organizer
      35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • Int'l Joint Research

URL: 

Published: 2023-12-25  

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