Local structure characterization of InGaN/GaN multi quantum wells by using synchrotron radiation nanobeam focused by compound refractive lens

2020 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 20H02644
• Research Institution: Japan Synchrotron Radiation Research Institute
• Principal Investigator: 木村 滋 公益財団法人高輝度光科学研究センター, 回折・散乱推進室, 室長 (50360821)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 隅谷 和嗣 公益財団法人高輝度光科学研究センター, 回折・散乱推進室, 研究員 (10416381)
• Project Period (FY): 2020-04-01 – 2023-03-31
• Keywords: 屈折レンズ / 放射光 / ナノビーム / InGaN / 多重量子井戸

Outline of Annual Research Achievements

本研究は，これまでに研究代表者等が開発を進めてきた放射光高分解能ナノビーム回折システムを，35 keVの高エネルギーX線で利用できるよう，新たな集光光学素子を開発し，逆格子マップの実空間マッピングとIn蛍光X線マッピングの同時測定を可能にするシステムを構築することにより，(1-100)面InGaN/GaN多重量子井戸構造の格子緩和とIn組成ゆらぎの相関関係を解明しようとするものである．
本年度は，35 keVの高エネルギーX線を集光するためのSi製屈折レンズを新規に設計し，製作した．また，Si製屈折レンズを精密に調整するためのステージ群を既存の放射光高分解能ナノビーム回折システムに組み込んだ．
今後は，作製した屈折レンズの集光ビームサイズとフォトンフラックス測定を実施するとともに，(1-100)面InGaN/GaN多重量子井戸構造の格子緩和とIn組成ゆらぎの相関関係を解明するため，In蛍光X線マッピングと局所逆格子マップ測定をサブミクロン空間分解能で実施する予定である．

Current Status of Research Progress

3: Progress in research has been slightly delayed.

Reason

2020年度当初，新型コロナの影響を受け屈折レンズ作製に関し業者との打合せができず．納入が予定より遅れた．若干の遅れは本年度に取り戻せるものと思っている．

Strategy for Future Research Activity

今後は，作製した屈折レンズの集光ビームサイズとフォトンフラックス測定を実施するとともに，(1-100)面InGaN/GaN多重量子井戸構造を試料として，In蛍光X線マッピングと局所逆格子マップ測定をサブミクロン空間分解能で実施する予定である．これにより，格子緩和とIn組成ゆらぎの相関関係を解明を目指す．