2022 Fiscal Year Annual Research Report
Local structure characterization of InGaN/GaN multi quantum wells by using synchrotron radiation nanobeam focused by compound refractive lens
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20H02644
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| Research Institution | Japan Synchrotron Radiation Research Institute |
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Principal Investigator |
木村 滋 公益財団法人高輝度光科学研究センター, 回折・散乱推進室, 主席研究員 (50360821)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
隅谷 和嗣 公益財団法人高輝度光科学研究センター, 回折・散乱推進室, 研究員 (10416381)
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| Project Period (FY) |
2020-04-01 – 2023-03-31
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| Keywords | 屈折レンズ / 放射光 / ナノビーム |
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| Outline of Annual Research Achievements |
高輝度放射光を100 nmレベルに集光したビームを利用する高分解能ナノビームX線回折による局所逆空間マッピングによるInGaN/GaNヘテロ構造の歪評価は、研究代表者等が世界に先駆けて開発を進めてきた技術である。
本研究は、これまでエネルギー30keVまでのX線でしか利用できなかった放射光高分解能ナノビームX線回折システムを、35 keV以上の高エネルギーX線で利用できるようにするため、新たな集光光学素子を開発し、局所逆空間マップの実空間マッピングとIn蛍光X線マッピングの同時測定を可能にするシステムを構築すること、更にそのシステムを利用し、(1-100)面InGaN/GaN多重量子井戸構造の格子緩和とIn組成ゆらぎの相関関係を解明することを目的にしている。
本年度は、SPring-8のBL13XUの第４実験ハッチに設置されている高分解能ナノビームX線回折装置に作成したSi製屈折レンズを組み込み、ビームサイズと集光効率の測定を行った。その結果、得られたビームサイズは320 nm（垂直方向）×590 nm（水平方向）、光子フラックスは1.0×10^9であった。これらの値は当初目標を充分にクリアした。
この屈折レンズの開発により、局所逆空間マップの実空間マッピングとIn蛍光X線マッピングの同時測定が可能になった。。
一方で、屈折レンズの開発と評価に時間を要し、当初の目標であったInGaN/GaN多重量子井戸構造の格子緩和とIn組成ゆらぎの相関関係を解明するまでには至らなかった。
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| Research Progress Status |
令和4年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
令和4年度が最終年度であるため、記入しない。
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