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2022 Fiscal Year Annual Research Report

Overcoming weaknesses and elucidating tribological phenomena by a new trial of molecular dynamics analysis considering experimental results

Research Project

Project/Area Number 20K04235
Research InstitutionIbaraki University

Principal Investigator

清水 淳  茨城大学, 理工学研究科(工学野), 教授 (40292479)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 周 立波  茨城大学, 理工学研究科(工学野), 教授 (90235705)
小貫 哲平  茨城大学, 理工学研究科(工学野), 准教授 (70400447)
尾嶌 裕隆  茨城大学, 理工学研究科(工学野), 准教授 (90375361)
山本 武幸  茨城大学, 理工学研究科(工学野), 技術職員 (40396594)
Project Period (FY) 2020-04-01 – 2023-03-31
Keywords分子動力学 / 原子間ポテンシャル / 摩擦 / 接触試験 / 環境 / スクラッチ
Outline of Annual Research Achievements

最終年度は、分子動力学シミュレーションにおける弱点の克服のため、前年度までに試みた、実験結果や文献調査結果から類推したポテンシャルパラメータを利用した分子動力学シミュレーション結果との比較検証のために、銅と亜鉛に対し、走査型プローブ顕微鏡上において大気中で、単結晶ダイヤモンドプローブを用いて、ナノすべりとスクラッチ試験を実施した。その結果、銅と亜鉛ともに、摩擦係数は低荷重領域において0.15~0.3程度の値を示すのに対し、ある荷重を超過するとそれは急増し、表面酸化膜が十分に破壊されたとみなされる荷重になると、1以上にもなることが観測された。この結果は前年度に酸化膜強度を内部の2倍とみなして試みた単結晶銅の分子動力学シミュレーション結果とよく似ており、開発した手法の有効性が確認された。
また、前年度に構築した、ポテンシャル制御を用いたシリコンウエハの化学作用援用研磨における材料除去メカニズム解析のための分子動力学モデルを用いて、シリコンウエハ表面の弱体化条件を5種類に変化させたシミュレーションを実施し、最も弱体化を強くした条件下での結果が、化学機械研磨で観測される現象を最もよく再現することを明らかにし、その成果は学会誌論文に採択された。この結果も、開発した手法の有効性を示すものといえる。
3年間の研究の結果、原子間ポテンシャルパラメータを接触実験結果や文献調査の結果から類推して分子動力学モデルに導入するという本研究の手法は、従来困難とされてきた実験結果と分子動力学シミュレーション結果との直接的な比較に有効であり、分子動力学シミュレーションと実験との歩み寄りの一つの有効手段となり得ると考えられる。

  • Research Products

    (13 results)

All 2023 2022 Other

All Journal Article (2 results) (of which Open Access: 1 results,  Peer Reviewed: 1 results) Presentation (10 results) (of which Int'l Joint Research: 4 results,  Invited: 1 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] 振動援用切削でテクスチャ加工した圧痕状パターン周期配置型金属面の乾式すべり特性2023

    • Author(s)
      清水 淳,山本武幸,金子和暉,周 立波,小貫哲平,尾嶌裕隆
    • Journal Title

      砥粒加工学会誌

      Volume: 67 Pages: 218-223

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 微小振動援用切削加工を用いた表面テクスチャリング加工技術2022

    • Author(s)
      清水 淳
    • Journal Title

      トライボロジスト

      Volume: 67 Pages: 337-342

    • DOI

      10.18914/tribologist.67.05_337

    • Open Access
  • [Presentation] C面サファイア基板のナノスクラッチ特性(第2報)-nmオーダ送りにおけるスクラッチ異方性の考察-2023

    • Author(s)
      清水 淳,林 旺票,矢野直彦,三枝剣悟,金子和暉,周 立波,小貫哲平,尾嶌裕隆,山本武幸
    • Organizer
      精密工学会春季大会学術講演会
  • [Presentation] hcp結晶の分子動力学解析結果を利用したc面サファイアのアブレシブ摩耗特性の評価2022

    • Author(s)
      清水 淳,林 旺票,矢野直彦,周 立波,小貫哲平,尾嶌裕隆,金子和暉,山本武幸
    • Organizer
      日本トライボロジー学会トライボロジー会議2022春
  • [Presentation] シリコンCMPの分子動力学シミュレーション 第1報:ポテンシャル制御に基づく化学的作用のモデル化2022

    • Author(s)
      金子和暉,橋村紀香,清水 淳,周 立波,小貫哲平,尾嶌裕隆
    • Organizer
      砥粒加工学会学術講演会
  • [Presentation] 微小振動援用切削でテクスチャ加工した圧痕状パターンの周期的配置による金属表面の乾式すべり特性2022

    • Author(s)
      清水 淳,山本武幸,金子和暉,周 立波,小貫哲平,尾嶌裕隆
    • Organizer
      砥粒加工学会学術講演会
  • [Presentation] C面サファイア基板のナノスクラッチ特性-nmオーダ送りにおけるスクラッチ異方性-2022

    • Author(s)
      三枝剣悟,林 王票,矢野直彦,清水 淳,金子和暉,周 立波,小貫哲平,尾嶌裕隆,山本武幸
    • Organizer
      精密工学会秋季大会学術講演会
  • [Presentation] ナノスクラッチによるC面単結晶サファイア基板の加工特性の検討(単溝スクラッチにおける加工異方性)2022

    • Author(s)
      清水 淳,林 旺票,矢野直彦,金子和暉,周 立波,小貫哲平,尾嶌裕隆,山本武幸
    • Organizer
      日本機械学会第14回生産加工・工作機械部門講演会
  • [Presentation] Molecular Dynamics Simulation of Chemical Mechanical Polishing of Si Wafer using Potential Control2022

    • Author(s)
      Norika Hashimura, Jun Shimizu, Kazuki Kaneko, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
    • Organizer
      International conference on Precision Engineering (ICPE 2022)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Boundary Lubricity of Metal Surfaces Textured by Vibration-assisted Cuttin2022

    • Author(s)
      Jun Shimizu, Kazuki Ohya, Takeyuki Yamamoto, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Kazuki Kaneko, Yoshiaki Fukahori
    • Organizer
      International conference on Precision Engineering (ICPE 2022)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Improvement of Tribological Properties by Surface Texturing Applying Vibration-Assisted Cutting2022

    • Author(s)
      Jun Shimizu
    • Organizer
      International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT 2022)
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Study on Abrasive Wear Mechanism of C-plane Sapphire Using Nanoscratch Test and Molecular Dynamics Simulation of HCP Crystal2022

    • Author(s)
      Jun Shimizu, Wangpiao Lin, Naohiko Yano, Kazuki Kaneko, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto, Kengo Saegusa
    • Organizer
      The 24th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT 2022)
    • Int'l Joint Research
  • [Remarks] NANO-ENGINEERING LAB. (nLab)

    • URL

      https://sites.google.com/site/nlabibarakiuniv/

URL: 

Published: 2023-12-25  

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