2022 Fiscal Year Annual Research Report
Development of a Mueller Matrix Microscope
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20K04518
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| Research Institution | University of Yamanashi |
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Principal Investigator |
金 蓮花 山梨大学, 大学院総合研究部, 教授 (40384656)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
近藤 英一 山梨大学, 大学院総合研究部, 教授 (70304871)
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| Project Period (FY) |
2020-04-01 – 2023-03-31
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| Keywords | エリプソ顕微鏡 / 裏面反射 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
本研究の目標は、物体の微細構造と材料特性を同時に観察・評価できる「ミューラー行列エリプソメトリー顕微鏡」の創製である。令和４年度では、ミューラー行列エリプソメトリー顕微鏡システム（ハードウェア・データ処理のソフトウェア）の完成とともに，その応用計測を行った。計測では，令和３年度に提案した透過・反射モード計測法とデータ処理法を用いた．位相子の複屈折位相差分布を計測し，顕微鏡の計測精度を確認した．また令和３年度に発見された問題点（透過モードでの試料基板の裏面反射影響）を解決するために，市販の点計測用エリプソメータを用いた実験を行った．本実験で得られた結果から問題点の解決法を提案し，ミューラー行列エリプソメトリー顕微鏡計測に利用した。
本研究成果について、学術雑誌への論文投稿および国際・国内会議での発表を行った．
研究期間全体と通じて、ミュラー行列エリプソメトリー顕微鏡をプロトタイプを完成させた．本研究では，ダブル球面鏡を用いたイメージング光学系の導入により，顕微鏡計測の色収差ゼロを実現した．また，全システムを反射・透過モード計測を可能にするとともに，新たなデータ解析ツールの開発した．それにより計測・解析時間の短縮を実現した．今後は，新たな計測原理・解析方法の開発により，計測の超高速化を行うことで，本顕微鏡の実用化を目指したい．
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