2022 Fiscal Year Annual Research Report
Research on lithography using projection exposure of stereophonic surface
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20K05293
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| Research Institution | Tokyo Denki University |
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Principal Investigator |
堀内 敏行 東京電機大学, 工学部, 研究員 (00297582)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
小林 宏史 東京電機大学, 工学部, 教授 (80838855)
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| Project Period (FY) |
2020-04-01 – 2023-03-31
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| Keywords | 立体面投影露光 / 曲面リソグラフィ / 放物面鏡 / マジックミラー / コリメート照明 / 一方向照明 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
本研究は緩い任意曲面上のパターンを同じ形状の別の曲面上に一度に投影露光転写する立体面投影露光技術の開発を目的とする。放物面鏡を対向させて上下に重ね、下ミラーにも開口を設けて透過曲面レチクルを置き、斜め下方から照明してその実像を上ミラーの開口上部に作る仕組みで立体面投影露光を行う。前年度迄の研究により、レチクル照明光線の方向によって像面への到達位置が変化し、変化は、物点が光軸から離れると急激に大きくなることが分かった。そのため、本年度は、詳しく光線追跡計算を行い、レチクル上の位置と上ミラー反射点位置をパラメータとして光線ずれ量を定量化した。また、レチクルを中心波長405nmのコリメートLED光源により一方向だけから平行光で照明するように、露光装置を改造した。照明の適切化により、透明プラスチックスプーンにイラスト付き透明シールを貼って製作した凹面、凸面のレチクル上のパターン(イラスト)を、レジストを塗った同形で逆方向に反った凸面、凹面スプーン上に投影露光転写できることを実証できた。コリメートLED光源による一方向照明の効果を踏まえて、曲面から曲面への投影露光を実証できたことは大きい成果であり、国際会議ODF2022、令和2年秋の応用物理学会秋季学術講演会、国際会議MNC 2021にて発表した。また、IOSR J. Appl. Phys.にコリメート光源による一方向照明の効果、JJAPに曲面から曲面への投影露光の実証について論文投稿し、いずれも採択、発行された。さらに、放物面鏡光学系の焦点深度が非常に深いことから、平面レチクルから曲面試料へのパターン転写の可能性も検討した。顕著な光強度の分布やパターン歪が生じたが、パターン形成自体は可能であった。この成果は、令和3年春の応用物理学会春季学術講演会、国際シンポジウムPMJ 2023で発表し、Proc. of SPIE に投稿した。
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Research Products
(9 results)
