2023 Fiscal Year Annual Research Report
Construction of zero emission process for semiconductor plating using ion exchange/chelate fibers
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20K12248
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| Research Institution | Nara National College of Technology |
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Principal Investigator |
中村 秀美 奈良工業高等専門学校, 物質化学工学科, 教授 (70198232)
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| Project Period (FY) |
2020-04-01 – 2024-03-31
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| Keywords | 吸着 / 金属リサイクル / 半導体めっき / 廃水処理 / ゼロ・エミッション |
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| Outline of Annual Research Achievements |
持続可能な開発目標(SDGs)への取り組み、環境問題への意識の高まりから、リサイクルへの関心が高まっている。半導体をめっきする際に生じるスラッジにはNiやSnといった有価な重金属を多量に含んでいるものの、それらの分離・回収・再資源化技術は確立されておらず、ほとんど再生利用されることなく産業廃棄物として処理されている。価格の高騰や資源の枯渇の観点からも地下に鉱山資源を保有しない日本が、地上の都市鉱山とも呼ばれる金属廃棄物から有価金属を分離し、リサイクルする技術の開発は喫緊の課題である。
半導体のめっきに利用されるSnは中性領域では錯化剤の共存下でないとイオンの状態で存在することができず、めっき液として利用できない。Snめっきの場合はNiめっきとは異なり、Sn2+がSn4+に酸化されめっき液が変質しやすく、しかもチップ部品から成分が溶解しやすいことから、回収槽の液をめっき槽に戻すことができず、廃液・廃水量が多くなるため排水処理コストがかかることが知られている。
そこで本研究では、イオン交換/キレート樹脂・繊維の吸着技術を利用して低濃度のSnめっき排水から低コスト・高効率にSnを分離・回収・再資源化することを目的に、Snの吸着平衡特性および分離特性の検討を行った。昨年、Snを効率よく吸着する吸着材として、酸性領域ではアミノリン酸型キレート樹脂、塩基性領域では強塩基性アニオン交換樹脂が効果的にSnを吸着することが明らかとなったが、新たにメチルグルカミンを官能基として持つキレート樹脂が吸着前後で溶液pHの変動が最も少なく、中性Snめっき排水からの吸着に優れていることが明らかとなった。これら3種の樹脂を用いたカラム法によるSn4+の破過・溶離曲線の検討から、Sn実めっき排水からのSn4+分離が可能であり、溶離剤を用いることでSn4+を効率的に濃縮回収できることが確認された。
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| Remarks |
Mobio-cafe ここから始まる産学連携『奈良高専』，2023年3月8日，クリエイション・コア東大阪
ビジネスチャンス発掘フェア2023，2023年11月29日～30日，マイドーム大阪
イノベーションストリームKANSAI 7.0，2023年12月19日～20日，グランフロント大阪
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