2021 Fiscal Year Research-status Report
CMUT多機能型デバイスによる電気・超音波マルチセンシング技術
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20K12625
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| Research Institution | Saga University |
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Principal Investigator |
木本 晃 佐賀大学, 理工学部, 准教授 (80295021)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
松永 忠雄 鳥取大学, 工学研究科, 准教授 (00396540)
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| Project Period (FY) |
2020-04-01 – 2023-03-31
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| Keywords | マルチセンシング / CMUT / 電気インピーダンス / 超音波 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
本研究の目的は、対象の電気及び超音波特性の同時測定を可能にする多機能型センシング技術を確立し、乳がん簡易検査のための電気及び超音波特性の可視化システムを開発することである。本申請では、これまでの課題を解決するために、半導体微細加工技術による静電駆動型超音波トランスデューサ(CMUT:Capacitive micromachined ultrasonic transducer)をもとにした多機能型電気・超音波同時センシングデバイスを開発し、電気・超音波イメージングによる乳がん検査への応用について評価することを目的とする。
計画では、本年度後半から16チャンネルCMUT多機能型イメージングの実験とその性能評価を行う予定であった。現在、16チャンネルCMUT多機能型マルチイメージングの測定システムを確立し、電気・超音波イメージングのための測定精度等の検討を行った。実験として、円筒型疑似CMUT多機能型デバイス中に食塩水を満たし，電気インピーダンス測定及び超音波測定を行い、イメージングのための測定の可能性を得た。CMUTデバイスにおいては、LTCCをもとにした制作プロセスを確認し，実際に制作を進める段階である。これまでの成果として、多機能型CMUTでの電気インピーダンス及び超音波測定の可能性を確認し、CMUT制作プロセスを確定した。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
3: Progress in research has been slightly delayed.
Reason
計画では、本年度後半から16チャンネルCMUT多機能型マルチイメージングの実験とその性能評価を行う予定であった。上記イメージングのための測定システムの確立に関しては計画通りであるが、CMUT多機能型デバイスの制作においては、制作プロセスの確認等に時間がかかり、制作には至っていない。よって、研究は着実に進行しているが、やや遅れていると評価した。
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| Strategy for Future Research Activity |
現状の評価としてはやや遅れているが、CMUTデバイスの制作は進んでいることから、研究計画に従い、CMUTデバイスの試作後、16チャンネルCMUT多機能型マルチイメージングの実験とその性能評価を行う予定である。イメージングの評価としては、食塩水中に石膏を挿入した生体もモデルや生体ファントムでの電気及び超音波イメージングを行う予定である。
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| Causes of Carryover |
計画として、CMUTデバイスの試作実験を行う予定であったが、デバイス制作のプロセス確認にとどまったため、その制作及び基礎実験の費用として次年度への繰り越しとなった。
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