2022 Fiscal Year Annual Research Report
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20K15151
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| Research Institution | Nara Institute of Science and Technology |
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Principal Investigator |
亜力坤 亜夏爾 奈良先端科学技術大学院大学, 先端科学技術研究科, 准教授 (30735064)
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| Project Period (FY) |
2020-04-01 – 2023-03-31
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| Keywords | 微細加工 / 超薄ガラス / 立体加工 / ドーム構造 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
これまでの研究では、①ガラス基板上に浅い微小なくぼみを形成する、②カバーガラスを重ねて仮接合し閉じた微細空洞を作る、③吹きガラスの原理を利用して、周囲を真空引きしながら加熱することで空洞中の空気を膨張させる、④ゆっくり冷却するという手順により、設計した寸法通りにガラス微小ドーム構造を形成できることを実証した。2023年度は、普通のガラス材料と物性が大きく違う石英ガラスを用いた場合の加工条件の検討とそれらの条件による石英ガラスドーム構造形状への影響を調査し、各パラメータ（温度、加熱時間、炉内位置など）と形状変化の関係性を明らかにした。特に、加工プロセスの順番が石英ガラスドーム構造形成に与える影響を明らかにした。石英ガラスの加工条件に関して、複数段階の加熱温度・徐冷プロセスの時間分配なども明らかにした。さらに、薄板石英ガラスとドーム構造またはドーム構造の一部を利用した様々な応用開拓も行った。例えば、厚さ10マイクロメートル（μm、1μmは1,000分の1mm）の石英ガラス板を超短パルスレーザーで一定の形状に加工し、さらにその上に微細の電極を集積し、超高精度なガラスカンチレバー型センサーの開発に成功した。
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Research Products
(5 results)
