• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to project page

2021 Fiscal Year Research-status Report

X線1nm集光への挑戦

Research Project

Project/Area Number 20K20444
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

三村 秀和  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (30362651)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 木村 隆志  東京大学, 物性研究所, 准教授 (50531472)
Project Period (FY) 2020-04-01 – 2023-03-31
KeywordsX線ミラー / 集光 / 高精度ミラー / 精密加工 / 精密計測
Outline of Annual Research Achievements

本研究は、「多層膜3次反射」と「超小型ミラー」というアイディアの導入により硬X線の微小集光の実現を目指している。本研究の開発項目として、超小型ミラー製造技術、多層膜ミラー作製技術、超小型KB集光システムの3つがある。これまで高い精度が要求される超小型ミラーの製造において、成膜による形状修正により、全長2mmの楕円筒ミラーを精度2nmレベルで作製し、全長8mmの楕円筒ミラーの作製にも成功している。この二つのミラーを用いたKB集光システムをSPring-8BL25SUに構築し、集光実験を実施し、100nm以下の集光サイズを確認していたが、理想的な回折限界の集光を確認していなかった。
今年度は、超小型ミラーの形状精度を向上させ、再度、集光実験を実施した。これまでの研究成果を活かし、精密なアライメントを実施し、2keVの軟X線をsub-30 nmの回折限界にまで集光することに成功した。さらに、後方にCCDカメラを設置し、走査型の軟X線顕微鏡を完成させた。蛍光X線ディテクターを搭載し集光サイズと同レベルの空間分解能をもつ元素イメージングシステムを構築した。タイコグラフィ法と組み合わせ、さらに高い空間分解能を実現した。また、開発した軟X線顕微鏡の応用として、細胞観察を行い、細胞内の酸素、炭素などの軽元素イメージングに成功した。
このように、ミラーの作製の高精度化により軟X線での回折限界集光を実現した。なお、実現したミラーの形状を想定し硬X線での計算を実施したところ、FWHMで10 nm以下の集光サイズが得られることを確認しており、硬X線領域への展開が可能となっている。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

3: Progress in research has been slightly delayed.

Reason

高精度な小型X線ミラーの作製は実現できたが、軟X線での評価しか行っていないため。

Strategy for Future Research Activity

小型X線ミラーの更なる高精度化を進めるとともに、硬X線を用いた評価を進める。
硬X線での評価に至らない場合は、シミュレーションによる予測を元に形状誤差の検証を行いX線ミラーの高精度化を進める。

Causes of Carryover

予定していたX線による集光評価の回数が少なかったため。次年度は実施を予定しており、繰り越した予算を使用予定である。

  • Research Products

    (1 results)

All 2021

All Presentation (1 results)

  • [Presentation] 超小型 KB ミラーを用いた軟 X 線 sub 50 nm 集光システムの開発2021

    • Author(s)
      島村 勇徳, 竹尾 陽子, 木村 隆志, 仙波 泰徳, 岸本 煇, 大橋 治彦, 三村 秀和
    • Organizer
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会

URL: 

Published: 2022-12-28  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi