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2010 Fiscal Year Annual Research Report

MEMSと実時間TEM顕微観察によるナノメカニカル特性評価と応用展開

Research Project

Project/Area Number 21000008
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

藤田 博之  東京大学, 生産技術研究所, 教授 (90134642)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 橋口 原  静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (70314903)
佐々木 成朗  成蹊大学, 理工学部, 教授 (40360862)
KeywordsMEMS / TEM / 第一原理計算 / ナノコンタクト / ナノハンドアイシステム / 材料劣化 / ナノ熱伝導 / ナノトライボロジー
Research Abstract

H21年に評価系の拡張において未着手であった極低温下での実験を可能とするホルダの開発を行い、提案したすべての研究テーマの推進を行うための評価系を整えることができた。H22年度は、電気接点劣化機構の解明、ナノ熱特性強化、繊維状ナノ材料特性評価、ナノトライボロジーに関する研究を行い、以下の研究成果を得た。
【電気接点劣化機構の解明】金対向針の間に高いバイアス電圧を印加し、対向針間の高電界や対向針接触時の高電流による影響を調べたところ、シリコン対向針に成膜した金膜が放電やジュール熱で剥離することがわかった。また、対向針間のバイアス電圧を印加せず、圧縮・引張を行ったところ、金の加工硬化により脆性向上が確認された。さらに強く圧縮・引張を行ったところ、10nmスケールの金の塊が対向針間で移動する移着現象を確認した。
【ナノ熱特性評価】シリコン対向針を接触し、シリコンナノ接点を100nm程度伸長した状態で、シリコンナノ接点を通じた熱伝導測定を行った。シリコンナノ接点において非常に高い熱伝導特性を示すことを発見した。またシリコンナノ接点の直径を変えて測定を行い、それぞれの熱伝導特性から直径依存性を確認した。
【繊維状ナノ材料特性評価】極微量分子捕獲のために、nmレベルで鋭くかつ数nmギャップを持つピンセットをメッキ法を用いて開発するも、滑らかで均一な成膜がうまくいかなかった。金のメッキ液の調整を行い、成膜条件の特定を行った。
【ナノトライボロジー】シリコンナノ接点のせん断変形のその場観察に加え、銀や金のナノ接点のせん断変形を観察することに成功した。銀や金はシリコンに比べ、せん断により接点形状は容易に変形し、せん断距離が短い領域で破断に至った。さらに計算グループがシリコンのせん断変形の塑性流動変形を計算により再現した。

  • Research Products

    (35 results)

All 2011 2010 Other

All Journal Article (10 results) (of which Peer Reviewed: 10 results) Presentation (22 results) Book (2 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Quasi-Static Frictional Test between Silicon Sharp Probes with in-situ TEM Observation of Real Contact Point2010

    • Author(s)
      T.Ishida, T.Sato, S.Nabeya, H.Fujita
    • Journal Title

      Journal of Physics : Conference Series

      Volume: 258 Pages: 012011(6pp)

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Nano-scale observation of frctional deformation at Ag single point contact with MEMS-in-TEM setup2010

    • Author(s)
      T.Sato, T.Ishida, S.Nabeya, H.Fujita
    • Journal Title

      Journal of Physics : Conference Series

      Volume: 258 Pages: 012005(6pp)

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] MEMS-in-TEM for Nano Tribology2010

    • Author(s)
      H.Fujita, T.Ishida, T.Sato, S.Nabeya
    • Journal Title

      Journal of Physics : Conference Series

      Volume: 258 Pages: 012004(6pp)

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Atomistic Simulation of Plasticity in Silicon Nanowires2010

    • Author(s)
      F.Cleri, T.Ishida, D.Collard, H.Fujita
    • Journal Title

      Applied Physics Letters

      Volume: 97 Pages: 153106(3pp)

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] In-situ TEM Observaiton of Nano Bonding Formation between Silicon Tips2010

    • Author(s)
      T.Ishida, K.Kakushima, N.Sasaki, H.Fujita
    • Journal Title

      Nanotechnology

      Volume: 21 Pages: 435705(5pp)

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Design and fabrication of MEMS-controlled probes for studying the nano-interface under in situ TEM observation2010

    • Author(s)
      T.Ishida, Y.Nakajima, K.Kakushima, M.Mita, H.Toshiyoshi, H.Fujita
    • Journal Title

      Journal of Micromechanics and Microengineering

      Volume: 20 Pages: 075011(8pp)

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Unique Near-Zero Friction Regime of C60 Molecular Bearings Along [12-30] Direction2010

    • Author(s)
      N.Itamura, H.Asawa, K.Miura, N.Sasaki
    • Journal Title

      Journal of Physics : Conference Series

      Volume: 258 Pages: 012013(8pp)

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Simulated Nanoscale Peeling Process of Monolayer Graphene Sheet: Effect of Edge Structure and Lifting Position2010

    • Author(s)
      N.Sasaki, H.Okamoto, S.Masuda, K.Miura, N.Itamura
    • Journal Title

      Journal of Nanomaterials

      Volume: 3 Pages: 742127(12pp)

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Nano composite Materials of Alternately Stacked C60 Monolayer and Graphene2010

    • Author(s)
      M.Ishikawa, S.Kamiya, S.Yoshimoto, M.Suzuki, D.Kuwahara, N.Sasaki, K.Miura
    • Journal Title

      Journal of Nanomaterials

      Volume: 3 Pages: 891514(6pp)

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Atomic-Scale Friction of Monolayer Graphenes with Armchair- and Zigzag-Type Edges During Peeling2010

    • Author(s)
      N.Sasaki, H.Okamoto, N.Itamura, K.Miura
    • Journal Title

      e-Journal of Surface Science and Nanotechnology

      Volume: 8 Pages: 105-111

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Nano-Tribological Functions of Carbon Hybrid Interfaces Formed by Graphene, Fullerene and Carbon Nanotube2011

    • Author(s)
      N.Sasaki
    • Organizer
      The 3rd International Symposium on Interdisciplinary Materials Science
    • Place of Presentation
      つくば国際会議場
    • Year and Date
      2011-03-09
  • [Presentation] In-situ TEM Observation of Formation-Retraction-Fracture Experiment of Liquid-Like Silicon Nanocontact2010

    • Author(s)
      T.Ishida, K.Kakushima, H.Fujita
    • Organizer
      Material Research Society Fall Meeting 2010
    • Place of Presentation
      Boston, USA
    • Year and Date
      2010-11-30
  • [Presentation] Mechanism of Superlubricity of FuUerene Molecular Bearings2010

    • Author(s)
      N.Sasaki
    • Organizer
      The 18th International Symposium on Surfactants in Solution
    • Place of Presentation
      Melbourne, Australia
    • Year and Date
      2010-11-15
  • [Presentation] マイクロ・ナノ加工技術の実用化事例と将来展望2010

    • Author(s)
      H.Fujita
    • Organizer
      横浜キーテクノロジー創生フォーラム2010
    • Place of Presentation
      横浜情報文化センター
    • Year and Date
      2010-11-02
  • [Presentation] MEMSを用いたシリコン真実接触部変形のTEM実時間観察と摩擦力測定2010

    • Author(s)
      石田忠、藤田博之
    • Organizer
      第2回マイクロナノ工学シンポジウム
    • Place of Presentation
      くにびきメッセ
    • Year and Date
      2010-10-15
  • [Presentation] MEMSを用いたDLC界面間におけるスティックスリップのTEMその場観測及び力計測2010

    • Author(s)
      鍋屋信介、石田忠、米谷玲皇、藤田博之
    • Organizer
      第2回マイクロナノ工学シンポジウム
    • Place of Presentation
      くにびきメッセ
    • Year and Date
      2010-10-14
  • [Presentation] 摩擦機構の解明に向けた銀のナノせん断破壊の実時間TEM観察2010

    • Author(s)
      佐藤隆昭、石田忠、藤田博之
    • Organizer
      第27回「センサ・マイクロマシンとその応用」シンポジウム
    • Place of Presentation
      くにびきメッセ
    • Year and Date
      2010-10-14
  • [Presentation] In-situ TEM Observation of Silicon Nano Bonding between MEMS Probes andits Formation Process Driven by Single Atomic Step Motion2010

    • Author(s)
      T.Ishida, H.Fujita
    • Organizer
      International Congress on Microscopy 17
    • Place of Presentation
      Rio de Janeiro, Brazil
    • Year and Date
      2010-09-20
  • [Presentation] In-situ TEM Observation of Formation of Crystalline Nano ball by Frictional Motion between DLC Surfces2010

    • Author(s)
      S.Nabeya, T.Ishida, R.Kometani, H.Fujita
    • Organizer
      International Congress on Microscopy 17
    • Place of Presentation
      Rio de Janeiro, Brazil
    • Year and Date
      2010-09-20
  • [Presentation] MEMS-in-TEM for Nano Tribology2010

    • Author(s)
      T.Sato, T.Ishida, S.Nabeya, H.Fujita
    • Organizer
      International Conference of Sciense and Friction 2010
    • Place of Presentation
      合歓の郷
    • Year and Date
      2010-09-17
  • [Presentation] Nano-scale observation of frictional deformation at Ag single point contact with MEMS-in-TEM2010

    • Author(s)
      H.Fujita, T.Ishida, T.Sato, S.Nabeya
    • Organizer
      International Conference of Sciense and Friction 2010
    • Place of Presentation
      合歓の郷
    • Year and Date
      2010-09-17
  • [Presentation] Quasi-Static Frictional Test between Silicon Sharp Probes with in-situ TEM Observation of Real Contae Point2010

    • Author(s)
      T.Ishida, H.Fujita
    • Organizer
      International Conference of Sciense and Friction 2010
    • Place of Presentation
      合歓の郷
    • Year and Date
      2010-09-15
  • [Presentation] Nanoscale Shear of Opposing Nanoscale Silicon Tips-Molecular Dynamics Study2010

    • Author(s)
      T.Ishikawa, N.Itamura, N.Sasaki
    • Organizer
      International Conference on Science of Friction 2010
    • Place of Presentation
      合歓の郷
    • Year and Date
      2010-09-15
  • [Presentation] Simulation of Fullerene Molecular Bearings2010

    • Author(s)
      N.Itamura, K.Miura, N.Sasaki
    • Organizer
      International Conference on Science of Friction 2010
    • Place of Presentation
      合歓の郷
    • Year and Date
      2010-09-15
  • [Presentation] Atomic-Scale Wear of Graphene-Simulation Study of Tip-Scan and Peeling Process2010

    • Author(s)
      N.Sasaki, H.Okamoto, K.Miura, N.Itamura
    • Organizer
      International Conference on Science of Friction 2010
    • Place of Presentation
      合歓の郷
    • Year and Date
      2010-09-14
  • [Presentation] Peeling Processed of Low-dimensional Graphite Family2010

    • Author(s)
      M.Ishikawa, N.Sasaki, Kouji Miura
    • Organizer
      International Conference on Science of Friction 2010
    • Place of Presentation
      合歓の郷
    • Year and Date
      2010-09-14
  • [Presentation] MEMSデバイスによるシリコンナノワイヤのTEM内熱伝導測定2010

    • Author(s)
      L.Jalabert、S.Volz、L.Bouscayrol、佐藤隆昭、石田忠、藤田博之
    • Organizer
      電気学会センサマイクロマシン部門総合研究会
    • Place of Presentation
      東京大学生産技術研究所
    • Year and Date
      2010-06-17
  • [Presentation] Simulation of atomic-scale wear of graphite-nanotip induced graphene formation2010

    • Author(s)
      N.Sasaki
    • Organizer
      CIMTEC 2010
    • Place of Presentation
      Montecatini, Italy
    • Year and Date
      2010-06-10
  • [Presentation] MEMS銀探針のナノせん断破壊に伴う界面変形の実時間TEM観察2010

    • Author(s)
      佐藤隆昭、石田忠、ローランジャヤベール、藤田博之
    • Organizer
      トライボロジー会議2010春
    • Place of Presentation
      国立オリンピック記念青少年総合センター
    • Year and Date
      2010-05-19
  • [Presentation] 分子動力学法によるシリコンナノ突起間摩擦の数値シミュレーション2010

    • Author(s)
      石川貴大、板村賢明、佐藤隆昭、石田忠、藤田博之、佐々木成朗
    • Organizer
      トライボロジー会議2010春
    • Place of Presentation
      国立オリンピック記念青少年総合センター
    • Year and Date
      2010-05-19
  • [Presentation] シリコンMEMS探新を用いたTEM内ナノスケール擦りつけ実験2010

    • Author(s)
      石田忠、藤田博之
    • Organizer
      トライボロジー会議2010春
    • Place of Presentation
      国立オリンピック記念青少年総合センター
    • Year and Date
      2010-05-19
  • [Presentation] DLC摩擦界面におけるナノベアリングの形成と転がり挙動のTEMその場観察2010

    • Author(s)
      鍋屋信介、石田忠、米谷玲皇、藤田博之
    • Organizer
      トライボロジー会議2010春
    • Place of Presentation
      国立オリンピック記念青少年総合センター
    • Year and Date
      2010-05-19
  • [Book] Graphene, Theory, Research and Applications2011

    • Author(s)
      N.Sasaki, H.Okamoto, K.Miura, N.Itamura
    • Total Pages
      19
    • Publisher
      Intech, Croatia
  • [Book] 現代界面コロイド科学の事典2010

    • Author(s)
      佐々木成朗, 三浦浩治
    • Total Pages
      2
    • Publisher
      (株)丸善
  • [Remarks]

    • URL

      http://www.ftokusui.iis.u-tokyo.ac.jp/

URL: 

Published: 2013-06-26  

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