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2009 Fiscal Year Annual Research Report

グラフォアセンブリーによる三次元積層型光電子集積システム・オン・チップ

Research Project

Project/Area Number 21226009
Research InstitutionTohoku University

Principal Investigator

小柳 光正  Tohoku University, 大学院・工学研究科, 教授 (60205531)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 田中 徹  東北大学, 大学院・医工学研究科, 教授 (40417382)
三浦 英生  東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90361112)
羽根 一博  東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50164893)
福島 誉史  東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 (10374969)
裴 艶麗  東北大学, 国際高等研究教育機構, 助教 (70451622)
Keywordsセルフアセンブリー / 三次元集積化 / 光電子集積化 / スーパーチップ / シリコン貫通配線
Research Abstract

本研究では、電気回路と光回路を搭載した三次元積層型光電子集積システム・オン・チップの実現を目指している。本年度は、このような三次元積層型光電子集積システム・オン・チップ実現の鍵となるグラフォアセンブリー、シリコン貫通光インターコネクション、シリコンフォトニクス・デバイスなどの要素技術について研究した。グラフォアセンブリー技術に関しては、表面に多数の金属マイクロバンプ電極(寸法:5μm×5μmチェーン段数:1000段)を形成したチップと基板をグラフォアセンブリー技術により張り合わせて、チップ-基板間で良好な電気的導通が取れることを確認した。また、グラフォアセンブリー技術の信頼性を支配するエリアアレイ型配置マイクロバンプを用いた三次元積層構造の機械的信頼性支配因子を解明するためひずみセンサチップを試作し、薄型積層チップの局所ひずみ・残留応力の支配因子を定量的に解明するとともに、めっき銅・すず積層型マイクロバンプ接続信頼性に及ぼす接合界面に生じる金属間化合物の影響を試作接合構造で明らかにした.シリコン貫通光インターコネクションに関しては、シリコン基板を用いた寸法45μm×45μmの矩形のシリコン導波路コアの周りに幅2.7μm、深さ30μmの溝を形成し、溝内をエポキシ樹脂で充填することにより光導波路クラッド層を形成した。このようなシリコン貫通光導波路を用いて光信号の伝送に成功した。チップ内光インターコネクションおよびシリコンフォトニクス・デバイスに関しては、シリコン光導波路、シリコン窒化膜光導波路を作製するための膜形成条件、導波路微細加工条件およびGeフォトダイオード形成のための選択成長条件について検討し、最適条件の探索を行った。以上の要素技術の検討と並行して、三次元積層型システム・オン・チップを作製するための三次元積層化技術の検討を行い、基本プロセス仕様を決定した。

  • Research Products

    (26 results)

All 2009

All Journal Article (9 results) (of which Peer Reviewed: 8 results) Presentation (17 results)

  • [Journal Article] High-Density Through Silicon Vias for 3-D LSIs2009

    • Author(s)
      MITSUMASA KOYANAGI, TAKAFUMI FUKUSHIMA, TETSU TANAKA
    • Journal Title

      Proceedings of THE IEEE 97

      Pages: 49-59

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 三次元積層型チップのためのSi貫通ビア(TSV)形成技術2009

    • Author(s)
      福島誉史, 田中徹, 小柳光正
    • Journal Title

      エレクトロニクス実装学会誌 12

      Pages: 104-109

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Fundamental Study of Complementary Metal Oxide Semiconductor Image Sensor for Three-Dimensional Image Processing System2009

    • Author(s)
      Kenji Makita, Kouji Kiyoyama, Takeaki Sugimura, Kang Wook Lee, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics 48

      Pages: 04C077-1-04C077-5

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Optical Interposer Technology Using Buried Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser Chip and Tapered Through-Silicon Via for High-Speed Chip-to-Chip Optical Interconnection2009

    • Author(s)
      Akihiro Noriki, Makoto Fujiwara, Kang-Wook Lee, Woo-Cheol Jeong, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics 48

      Pages: C113-1-C113-5

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] An ultarasmall wavelength-selective channel drop switch using a nanomechanical photonic crystal nanocavity2009

    • Author(s)
      Yoshiaki Kanamori, Kazunori Takahashi, Kazuhiro Hane
    • Journal Title

      Applied Physics Letters 95(17)

      Pages: 171911-171913

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Effect of the Formation of the Intermetallic Compounds between a Tin Bump and an Electroplated Copper Thin Film on both the Mechanical and Electrical Properties of the Jointed Structure2009

    • Author(s)
      Seongcheol Jeong, Naokazu Murata, Yuki Sato, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • Journal Title

      Transaction of the Japan Institute of Electronics Packaging 2

      Pages: 91-97

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] ピエゾ抵抗ひずみセンサを用いたフリップチップ実装構造内局所2軸残留応力分布の測定2009

    • Author(s)
      佐々木拓也, 上田啓貴, 三浦英生
    • Journal Title

      エレクトロニクス実装学会誌 12

      Pages: 623-628

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 積層フリップチップ実装構造の残留応力低減構造に関する研究2009

    • Author(s)
      上田啓貴, 佐々木拓也, 三浦英生
    • Journal Title

      エレクトロニクス実装学会誌 12

      Pages: 519-525

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article]2009

    • Author(s)
      Mitsumasa Koyanagi, Co-editor/Author
    • Journal Title

      Materials and Technologies for 3-D Integration(共著)(Material Research Society)

      Pages: 121-130

  • [Presentation] Three-Dimensional Optoelectronic Multichip Module with Optical Interconnection(Invited)2009

    • Author(s)
      Mitsumasa Koyanagi, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka
    • Organizer
      12th IEEE International Symposium on Microwave and Optical Technology(ISMOT-2009)
    • Place of Presentation
      Indiaニューデリー
    • Year and Date
      2009-12-18
  • [Presentation] Three-Dimensional Integration Technology Based on Reconfigured Wafer-to-Wafer and Multichip-to-Wafer Stacking Using Self-Assembly Method2009

    • Author(s)
      Takafumi Fukushima, Eiji Iwata, Yuki Ohara, Akihiro Noriki, Kiyoshi Inamura, Kang-Wook Lee, Jicheol Bea, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • Organizer
      The IEEE International Electron Devices Meeting(IEDM)
    • Place of Presentation
      Baltimore, USA
    • Year and Date
      2009-12-08
  • [Presentation] 3D Heterogeneous Opto-Electronic Integration Technology for System-on-Silicon(SOS)2009

    • Author(s)
      K-W Lee, A.Noriki, K.Kiyoyama, S.Kanno, R.Kobayashi, W-C Jeong, J-C Bea, T.Fukushima, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • Organizer
      The IEEE International Electron Devices Meeting(IEDM)
    • Place of Presentation
      Baltimore, USA
    • Year and Date
      2009-12-08
  • [Presentation] 3次元LSI技術を使ったイメージセンサ技術の課題、動向(招待講演)2009

    • Author(s)
      小柳光正, 元吉真
    • Organizer
      SEMIテクノロジーシンポジウム(STS)
    • Place of Presentation
      幕張
    • Year and Date
      2009-12-04
  • [Presentation] Super-Hetero Integration Technology Using Self-Assembly(Invited)2009

    • Author(s)
      小柳光正
    • Organizer
      International Conference on Planarization/CMP Technology 2009(ICPT2009)
    • Place of Presentation
      福岡
    • Year and Date
      2009-11-20
  • [Presentation] Effect of Micro-Texture of Electroplated Copper Thin Flms on Their Mechanical and Electrical Properties2009

    • Author(s)
      Hideo Miura
    • Organizer
      IEEE International Conf.on Electronic Materials and Packaging 2009
    • Place of Presentation
      Taipei, Taiwan
    • Year and Date
      2009-10-24
  • [Presentation] Self-Assembled 3D Chip Stacking Technology(Invited)2009

    • Author(s)
      Kang-Wook Lee, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • Organizer
      216th Electrochemical Society(ECS)Meeting
    • Place of Presentation
      Vienna, Austria
    • Year and Date
      2009-10-06
  • [Presentation] Development of a New Self-Assembled Die bonder to Three-Dimensionally Stack Known Good Dies in Batch2009

    • Author(s)
      Tanafumi Fukushima, Eiji Iwata, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • Organizer
      Proc.of IEEE International 3D System Integration Conference(3DIC)
    • Place of Presentation
      San Francisco, USA
    • Year and Date
      2009-09-30
  • [Presentation] Three-Dimensional Integration Technology Using Self-Assembly Technique(Invited)2009

    • Author(s)
      小柳光正
    • Organizer
      International Symposium on Dry Process(DPS)
    • Place of Presentation
      Korea釜山
    • Year and Date
      2009-09-24
  • [Presentation] Spherical silicon micro-mirrors bent by anodic bonding2009

    • Author(s)
      Takahiro Yamazaki, Ryohei Hokari, Kazuhiro Hane
    • Organizer
      IEEE/LEOS Int.Conference on Optical MEMS and Nano-Photonics
    • Place of Presentation
      Clearwater, USA.
    • Year and Date
      2009-08-18
  • [Presentation] Control of the Growth of the Intermetallic Compound for mechanical and electrical reliability of fine bump joints2009

    • Author(s)
      Hideo Miura
    • Organizer
      The ASME Pacific Rim Technical Conference and Exhibition on Integration and Packaging of Micro, Nano, and Electronic Systems
    • Place of Presentation
      San Francisco, USA
    • Year and Date
      2009-07-22
  • [Presentation] セルフアセンブリー伝を用いた新しいヘテロインテグレーション技術(VLSI特集)(招待講演)2009

    • Author(s)
      福島誉史, 田中徹, 小柳光正
    • Organizer
      応用物理学会シリコンテクノロジー分科会
    • Place of Presentation
      東京
    • Year and Date
      2009-07-21
  • [Presentation] Thin-Film Devices and Three-Dimensional Systems(Invited)2009

    • Author(s)
      小柳光正
    • Organizer
      Active Matrix-Flat Panel Display(AM-FPD)
    • Place of Presentation
      奈良
    • Year and Date
      2009-07-01
  • [Presentation] Connection characteristics of silicon nanowire waveguides and fabrication of physical contact switches2009

    • Author(s)
      Erdal Bulgan, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane
    • Organizer
      IEEE 15th Int.Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microssytems
    • Place of Presentation
      Denver, USA.
    • Year and Date
      2009-06-23
  • [Presentation] New 3D Integration Technology and 3D System LSIs(Invited)2009

    • Author(s)
      小柳光正
    • Organizer
      Symposium on VLSI Technology
    • Place of Presentation
      京都
    • Year and Date
      2009-06-15
  • [Presentation] 異種デバイスの融合を目指すスーパー・ヘテロインテグレーション技術2009

    • Author(s)
      小柳光正
    • Organizer
      浜松ホトニクス第21回半導体ワークショップ
    • Place of Presentation
      浜松
    • Year and Date
      2009-06-04
  • [Presentation] 3D Integration Technology and 3D Integrated Systems(Invited)2009

    • Author(s)
      小柳光正, 福島誉史, 田中徹
    • Organizer
      IEEE International Interconnect Technology Conference(IITC)
    • Place of Presentation
      札幌
    • Year and Date
      2009-05-31

URL: 

Published: 2011-06-16   Modified: 2016-04-21  

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