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2010 Fiscal Year Annual Research Report

新機軸基板剥離式縦型深紫外発光素子に関する研究

Research Project

Project/Area Number 21360013
Research InstitutionRitsumeikan University

Principal Investigator

武内 道一  立命館大学, 立命館グローバル・イノベーション研究機構, 准教授 (60284585)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 黒内 正仁  立命館大学, 立命館グローバル・イノベーション研究機構, ポストドクトルフェロー (10452187)
Keywords深紫外発光素子 / 結晶成長 / III族窒化物半導体 / 量子井戸 / AlN / AlGaN / 縦型発光素子 / レーザーリフトオフ
Research Abstract

一昨年度である平成21年度には、易加工性基板であるSi基板へのAIN成長を試み、クラックフリーで高品質なAlGaN系薄膜を成長可能とする「自然ボイド形成法」の開発に成功した。昨年の22年度は、この手法で形成したAlN on Si構造の断面構造の詳細を検証し、Si基板側にわずかにエッチングピットが形成され、そこを起点にボイドが形成されることを見いだした。そのため、Si基板に対する前処理状態をコントロールすることでピットの密度、サイズが制御可能となり、そこからボイド構造の制御性を議論することに可能となった。さらにAlN/Si基板界面付近で100nm厚オーダーの融合層が形成されていることも見いだし、この反応を抑制することが高品質化へのキーポイントとなることがわかった。
AlN/サファイアテンプレート構造については、極性混在初期膜成長-アニールー埋め込み成長といった二段階成長法を駆使し、各種成長パラメーターの再見直しとともに最高水準のAlN膜を市販の結晶成長炉の能力で2インチ基板上に非常に均質に形成する成長技法の開発に成功した。また、この手法の副次効果として、それまではn形AlGaN層は1×10^<18>cm^<-3>程度のドーピング限界であったのだが、4~5×10^<18>cm^<-3>といった高濃度ドープも可能となった。こうして高品質化が可能となった結晶成長膜を用いて265nm帯のLEDを作製した結果、1mWを越える発光を実現することができた。
基板はく離型縦型構造に関しては、これまでn-AlGaN層の剥離面に電極を形成する縦型構造を推進してきたが、n-AlGaN層の低抵抗化が可能となったこと、剥離面であるn-AlGaN層下面がN極性面であって電極形成プロセス開発が非常に困難を極めることから、電極横配置型素子で基板剥離を行うことが放熱面から優位性を持つことを検証すべく新たなレーザーリフトオフ装置のトライアル実験を行い、良好な手応えを得た。

  • Research Products

    (19 results)

All 2011 2010

All Presentation (17 results) Patent(Industrial Property Rights) (2 results)

  • [Presentation] 高パワー深紫外半導体発光デバイスの開発2011

    • Author(s)
      武内道一、青柳克信、渡辺正幸、荒川彰
    • Organizer
      京都ナノクラスター 第二回グループミーティング
    • Place of Presentation
      JSTイノベーションプラザ(京都)(Invited)
    • Year and Date
      2011-03-11
  • [Presentation] 2光束成長その場観察技法を用いた縦型深紫外発光素子の高出力化に関する研究2011

    • Author(s)
      武内道一、黒内正仁、青柳克信
    • Organizer
      窒化物光半導体のフロンティア-材料潜在能力の極限発現-
    • Place of Presentation
      長浜ロイヤルホテル(滋賀)(Invited)
    • Year and Date
      2011-03-01
  • [Presentation] Development of III-Nitride based deep-UV LEDs2011

    • Author(s)
      Misaichi Takeuchi
    • Organizer
      Lecture ofdeep UV LEDs
    • Place of Presentation
      Seoul Semiconductors安山市・韓国(Invited)
    • Year and Date
      2011-02-17
  • [Presentation] GaN~AlN窒化物半導体MOCVD結晶成長2011

    • Author(s)
      武内道一
    • Organizer
      窒化物半導体セミナー
    • Place of Presentation
      東京農工大学(東京)(Invited)
    • Year and Date
      2011-02-04
  • [Presentation] AlGaN系深紫外発光素子対応半導体層のMOCVD成長2010

    • Author(s)
      武内道一
    • Organizer
      第52回CVD研究会
    • Place of Presentation
      京都私学会館(京都)(Invited)
    • Year and Date
      2010-12-13
  • [Presentation] III-Nitride based deep UV light emitting devices for environmental issues2010

    • Author(s)
      M.Takeuchi
    • Organizer
      The 7th Scientific Conference of University of Science
    • Place of Presentation
      ホーチミン市、ベトナム(Invited)
    • Year and Date
      2010-11-26
  • [Presentation] Growth and Application of AlGaN Deep UV LEDs-Water Purification and Ozone Sensing-2010

    • Author(s)
      M.Takeuchi, K.Yoshida, M.Kurouchi, T.Araki, Y.Nanishi, Y.Aoyagi
    • Organizer
      The 6th SNU-Ritsumeikan University Joint Workshop
    • Place of Presentation
      ソウル、韓国(Invited)
    • Year and Date
      2010-11-10
  • [Presentation] 水殺菌、およびオゾン検知へのAlGaN系深紫外LEDの実応用2010

    • Author(s)
      武内道一、吉田薫、黒内正仁、荒木努、名西やすし、青柳克信
    • Organizer
      窒化物ナノ・エレクトロニクス材料研究センター講演会「GaN系プラネットコンシャスデバイス・材料の現状」
    • Place of Presentation
      東北大学(宮城)
    • Year and Date
      2010-11-04
  • [Presentation] GaN系結晶成長とその場観察法2010

    • Author(s)
      武内道一
    • Organizer
      窒化物半導体セミナー
    • Place of Presentation
      東京大学(東京)(Invited)
    • Year and Date
      2010-10-27
  • [Presentation] 深紫外LEDによる水処理・オゾンセンサー2010

    • Author(s)
      武内道一
    • Organizer
      第三回窒化物半導体の高品質結晶とその素子応用
    • Place of Presentation
      東北大学(宮城)(Invited)
    • Year and Date
      2010-10-26
  • [Presentation] Crack-free AlGaN/AlN templates grown on Si(III)substrates by in-situ void formation technique2010

    • Author(s)
      M.Takeuchi, Y.Aoyagi
    • Organizer
      International Workshop on Nitride Semiconductors 2010 (IWN2010)
    • Place of Presentation
      タンパ、フロリダ州
    • Year and Date
      2010-09-20
  • [Presentation] Formation of three-dimensional AlN structure for initial growth by an nealing AlN buffer layer2010

    • Author(s)
      M.Kurouchi, M.Takeuchi, Y.Aoyagi
    • Organizer
      International Workshop on Nitride Semiconductors 2010 (IWN2010)
    • Place of Presentation
      タンパ、フロリダ州
    • Year and Date
      2010-09-20
  • [Presentation] Field Plate構造を適用したAlGaN channel HEMTの特性2010

    • Author(s)
      南條拓真、武内道一、今井章文、鈴木洋介、塩沢勝臣、吹田宗義、阿部雄次、柳生栄治、吉新喜市、青柳克信
    • Organizer
      第71回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      長崎大学(長崎)
    • Year and Date
      2010-09-15
  • [Presentation] 極性混在AINバッファ層のアニール処理による新しい核形成法2010

    • Author(s)
      黒内正仁、武内道一、黄恩淑、青柳克信
    • Organizer
      第71回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      長崎大学(長崎)
    • Year and Date
      2010-09-15
  • [Presentation] 深紫外線LEDを用いたオゾン濃度測定2010

    • Author(s)
      吉田薫、黒内正仁、武内道一、荒木努、名西やすし、菅野裕靖、阿彦由美、中村広隆、青柳克信
    • Organizer
      第71回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      長崎大学(長崎)
    • Year and Date
      2010-09-15
  • [Presentation] III族窒化物半導体深紫外光源による水処理2010

    • Author(s)
      武内道一、黒内正仁、青柳克信、安井宣仁、神子直之
    • Organizer
      第13回日本水環境学会シンポジウム
    • Place of Presentation
      京都大学(京都)(Invited)
    • Year and Date
      2010-09-09
  • [Presentation] Water Sterilization by AlGaN base DUV Light Emitting Diodes2010

    • Author(s)
      K.Yoshida, M, Kurouchi, M.Takeuchi, N.Yasui, N.Kamiko, Y.Nanishi, T.Araki, Y, Aoyagi
    • Organizer
      29th Electronic Materials Symposium (EMS29)
    • Place of Presentation
      ラフォーレ修善寺(静岡)
    • Year and Date
      2010-07-06
  • [Patent(Industrial Property Rights)] オゾン濃度測定装置2011

    • Inventor(s)
      吉田薫、武内道一、青柳克信、中村広隆、菅野裕晴、阿彦由美、菅野勝靖
    • Industrial Property Rights Holder
      (有)光電鍍工業、(独)都立産業技術研究センタ-、(学)立命館
    • Industrial Property Number
      特許、特願2011-038925
    • Filing Date
      2011-02-24
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 結晶成長方法および半導体素子2010

    • Inventor(s)
      青柳克信、武内道一、上田吉裕、太田征孝
    • Industrial Property Rights Holder
      (学)立命館、シャープ(株)
    • Industrial Property Number
      特許願、特願2010-155388
    • Filing Date
      2010-07-08

URL: 

Published: 2012-07-19  

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