2010 Fiscal Year Annual Research Report
デジタルホログラフィによるマイクロ三次元構造物の力学特性評価手法の開発
| Project/Area Number |
21360053
|
|---|
| Research Institution | Wakayama University |
|---|
Principal Investigator |
藤垣 元治 和歌山大学, システム工学部, 准教授 (40273875)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
村田 頼信 奈良先端科学技術大学院大学, システム工学部, 准教授 (50283958)
|
|---|
| Keywords | デジタルホログラフィ / ひずみ分布計測 / 形状計測 / 力学特性評価 / 三次元構造物 / マイクロマシン |
|---|
| Research Abstract |
本年度は,提案手法を用いてマイクロ構造物の形状・変位・ひずみ分布が計測できるシステムを構築のための光学系と計測原理の構築を行った.マイクロ構造物の形状・変位・ひずみ分布計測を行う光学系の構築のためには,当初想定していた3個以上のレーザー光を複数方向から照射する方法には構造上の限界があることがわかった.そのために,光源は1個にして,撮像素子を複数個にする新しい手法を考案した.その原理について実験的に確認を行い,さらに改良することで撮像素子の数も減らすことができることを確認した.その他,今年度は次の研究を行った.なお,計画していたマイクロ荷重装置は,既存の小型荷重装置を改良することで流用することにした.
1.複数撮像素子の光学系について検討を行った.その光学系を構築し,変位・ひずみ分布計測実験に適用することで,有効性を実験的に検証した.
2.その改良を行い,撮像素子の数をさらに減らすことが可能であることを実験的に検証した.
3.波長が安定しない半導体レーザーであっても精度よく位相シフトが可能となる小型の位相シフト機構を構築した.
4.マイクロ構造物の三次元形状の計測実験を行った.
5.マイクロ構造物に振動を加えるための手法をいくつか試した.圧電素子を用いる超音波プローブでは振幅が足りないために,電磁コイル式の加振方法を用いた.
6.振幅を検出する時間平均干渉縞のノイズを減少させる手法について実験的に検証した.さらに,定量的に振幅分布を求めるための手法について実験的に検討を行った.
|
Research Products
(8 results)
