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2009 Fiscal Year Annual Research Report

回折光干渉型シングル計測ポイントXYZ3軸サーフェスエンコーダに関する研究

Research Project

Project/Area Number 21360057
Research InstitutionTohoku University

Principal Investigator

高 偉  Tohoku University, 大学院・工学研究科, 教授 (70270816)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 荒井 義和  東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 (20455801)
Keywords多軸計測 / 微細格子 / 平面ステージ / 回折光
Research Abstract

本研究は,シングル計測ポイントからXYZ3軸変位をsub-nmの分解能で一括計測できるXYZ3軸サーフェスエンコーダを開発することを最大の目的としている.提案する計測原理では,シングルレーザビームをサーフェス微細格子に入射し,入射点からの回折光をセンサヘッド内の微細サーフェス参照格子からの回折光と干渉させ,生じる干渉信号からXYZ3軸変位を算出する.本年度は,XYZ3軸サーフェスエンコーダのプロトタイプの試作と変位検出特性の評価を中心に研究を遂行した.
まず,センサヘッドの光学設計と機械設計に取り組んだ.sub-nmの分解能を得るためにサーフェス微細格子ピッチとレーザ波長をそれぞれ1μmと0.685μmと設定し,対応するセンサヘッド光学系の設計を行った.1μmピッチの微細格子から生じる回折光の拡がりを抑える透過型格子をセンサヘッド内に配置することで,50mm×70mm×40mmの小型センサヘッドを設計できた.
併せて,変位算出に必要な干渉信号の信号処理システムを開発した.コンピュータ演算処理の負担を抑えて変位検出速度の向上を図るために,アナログ回路をベースにした信号処理システムを試作し,干渉信号の振幅・オフセットの誤差を電気的に調整した.
次に,サーフェスエンコーダの計測基準面であるサーフェス微細格子の製作に取り組んだ.大面積微細格子の製作時間短縮の観点から,サーフェス格子微細の製作方法を当初の計画であった機械加工から2光波干渉を用いた光リソグラフィー加工に変更し,最大30mm×30mmの領域に渡り1μmピッチの微細格子を製作できるシステムを構築した.
最後に,センサヘッド光学系の組み立てと調整,及び基礎的な変位検出特性の評価を行った.実験の結果,開発したセンサヘッドとサーフェス微細格子を用いてXYZ3軸の変位をsub-nmの分解能で検出できることを実証した.

  • Research Products

    (8 results)

All 2010 2009 Other

All Journal Article (2 results) (of which Peer Reviewed: 1 results) Presentation (4 results) Remarks (1 results) Patent(Industrial Property Rights) (1 results)

  • [Journal Article] Design and construction of a two-degree-of-freedom linear encoder for nanometric measurement of stage position and straightness2010

    • Author(s)
      Akihide Kimura, Wei Gao, Yoshikazu Arai, Zeng Lijiang
    • Journal Title

      Precision Engineering 34-1

      Pages: 145-155

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article]2009

    • Author(s)
      木村彰秀, 高偉
    • Journal Title

      機械設計「超精密位置決めのための変位センサ」(日刊工業新聞社)

      Pages: 47-54

  • [Presentation] 回折光干渉型3軸サーフェスエンコーダに関する研究-XYZ格子形状誤差マップによる計測誤差非線形分の補正-2010

    • Author(s)
      木村彰秀, 高偉, 曽理江
    • Organizer
      2010年度精密工学会春季大会 学術講演会
    • Place of Presentation
      さいたま
    • Year and Date
      2010-03-18
  • [Presentation] 回折光干渉型3軸サーフェスエンコーダに関する研究-短ピッチXY格子に対応したセンサヘッドの開発-2009

    • Author(s)
      木村彰秀, 荒井義和, 高偉, 曽理江
    • Organizer
      2009年度 精密工学会秋季大会 学術講演会
    • Place of Presentation
      神戸
    • Year and Date
      2009-09-10
  • [Presentation] Fast measuring technologies for ultra-precision manufacturing(招待講演)2009

    • Author(s)
      Wei Gao, Yoshikazu Arai, Yusuke Saito, Akihide Kimura, Takemi Asai
    • Organizer
      The 9th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments
    • Place of Presentation
      Saint-Petersburg, Russia
    • Year and Date
      2009-07-01
  • [Presentation] Evaluation of multi-degree-of-freedom displacement sensors2009

    • Author(s)
      Akihide Kimura, Yoshikazu Arai, Wei Gao
    • Organizer
      The 9th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments
    • Place of Presentation
      Saint-Petersburg, Russia
    • Year and Date
      2009-07-01
  • [Remarks]

    • URL

      http://www.nano.mech.tohoku.ac.jp/

  • [Patent(Industrial Property Rights)] 回折格子の形状誤差評価方法2010

    • Inventor(s)
      木村彰秀, 高偉
    • Industrial Property Rights Holder
      東北大学
    • Industrial Property Number
      特願2010-005817
    • Filing Date
      2010-01-14

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Published: 2011-06-16   Modified: 2016-04-21  

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