2009 Fiscal Year Annual Research Report
ガラスの高付加価値化を実現する新しいレーザ微細加工法に関する研究
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21360058
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| Research Institution | Saitama University |
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Principal Investigator |
池野 順一 Saitama University, 理工学研究科, 教授 (10184441)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
澁谷 秀雄 埼玉大学, 理工学研究科, 助教 (80303709)
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| Keywords | レーザ加工 / 微細加工 / 精密部品加工 / マイクロナノ加工 / ガラス / コロイド凝集 / 着色 / 鏡面 |
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| Research Abstract |
ガラスは耐熱性、耐薬品性、光学、電気、機械など優れた特性を有し、広い分野で使用される重要な材料である。現在、IT製品などの高機能化、複雑化に伴い、ガラスの微細加工が益々重要となり、今まで不可能であった加工についても要求されるようになった。そこで、本研究ではガラスを加工対象とした3つのこれまでにない新たなレーザ微細加工を提案し、その実現を目指して3年間の研究を開始した。1)3次元割断によるレーザ微細鏡面溝創成法,2)ガラス箔の3次元精密微細成形加工法,3)コロイド凝集制御による微細領域着色加工法
初年度は装置の構築に重点をおいて研究活動を行い,提案する3つの新加工法を実現するための共通装置として,レーザビーム走査システム,シャッターシステム,加工ステージシステム,オートフォーカスシステム,統合加工システムを開発した.これらの共通装置を基に,各加工法に必要な装置の構築を手がけ,3次元割断によるレーザ微細鏡面溝創成装置,ガラス箔の3次元精密微細成形装置,コロイド凝集制御による微細領域着色加工装置を完成させた.
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