2010 Fiscal Year Annual Research Report
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21360059
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
割澤 伸一 東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授 (20262321)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
石原 直 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (00422329)
米谷 玲皇 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教 (90466780)
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| Keywords | ナノ・マイクロ加工 / 自己組織化 / 三次元ナノ構造 / ブロック共重合体 / プラズモン共鳴 / 光学多層膜 |
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| Research Abstract |
ポリスチレン(PS)-ポリメチルメタクリレート(PMMA)で構成されるジブロック共重合体による垂直シリンダ構造をFIB-CVD法を利用した作製した3次元DLC構造に形成させる試みを行った.通常,PS-PMMAのランダム共重合体の単層膜を形成したあと,ジブロック共重合体の薄膜を塗布しアニールする.しかしながら,DLCの場合表面自由エネルギが大きいため,ランダム共重合体の代わりに金を3次元DLC構造体に被膜させ,ディツプコート法によりジブロック共重合体を塗布し,アニールした.その結果,3次元DLC構造体構成面の角度によらず,垂直シリンダ構造の形成に成功した.次に.使用したジブロック共重合体の粘性の高さに着目し,自己組織化膜の空中形成を試みた.FIB-CVD法とウェットエッチングを利用して近接する平行な梁構造を作製し,これにジブロック共重合体を塗布すると,梁と梁の間にジブロック共重合体の薄膜が形成される.これをアニール処理した結果,この薄膜に垂直シリンダ構造が形成されることがわかった.次に,ジブロック共重合体の垂直シリンダ構造をテンプレートとしてプラズモン共鳴を起こすデバイスの試作と,光学多層膜を作製する方法について検討を行った.プラズモン共鳴を起こすデバイスは,2種類のブロック共重合体を混合させるとともに,薄膜の厚さを連続的に変化させる塗布方法を検討した.膜厚一定の自己組織化構造を使ってプラズモン共鳴を起こすデバイスの作製には成功した.薄膜厚を連続的に変化させるためにディップコータを試作した.光学多層膜に関しては,自己組織化させたあと,PMMAを除去しナノホール構造を構成し,バイアススパッタ法により屈折率の異なる材料を立体格子状に配置する.この方法による実験的検討を進めた.これは,自己組織化ナノ周期構造の光デバイスへの応用を示す意義がある
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Research Products
(5 results)
