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2011 Fiscal Year Annual Research Report

ディスペンサと精密ステージを利用した能動制御微粒子整列

Research Project

Project/Area Number 21360065
Research InstitutionTokyo Metropolitan University

Principal Investigator

諸貫 信行  首都大学東京, システムデザイン研究科, 教授 (90166463)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 金子 新  首都大学東京, システムデザイン研究科, 准教授 (30347273)
田中 靖紘  首都大学東京, システムデザイン研究科, 特任助教 (80568113)
Keywordsディスペンサ / 微粒子 / 自己整列 / 制御 / 位置決め / 研磨工具 / 転写
Research Abstract

微粒子を分散させた懸濁液を基板上に塗布・乾燥させることで微粒子の自己整列構造を容易に製作することができる.本研究ではディスペンサと精密ステージを組合せて基板上に自由なパターンの自己整列構造を製作する技術の確立を目的とし,今年度は大面積化と複雑なパターン生成および微粒子固定法の検討を進めた.
特定パターンに沿って微粒子列を形成する制御プログラムを開発し,製作を行った.これまで蓄積してきたディップコーティングによる整列とは条件が異なるため,懸濁液濃度や吐出速度およびステージ動作速度などの適正化を行った.基板上での懸濁液の濡れ広がり現象も複雑であり,これをモデル化することで最終的な微粒子列幅の見積もり方法を検討した.最終的に,所望のパターンに沿った幅数mmの微粒子整列構造を得ることができるようになった.研磨工具への応用を意図し,直径1ミクロンのシリカ微粒子からなる多条のスパイラル構造をシリコン基板上に作成した.
次いで,.整列微粒子を別基板に転写するための技術開発を行った.光硬化性樹脂を始め,砥石の結合剤にも用いられるフェノール樹脂への転写条件を明らかにした.特徴は,厚みを持たせてゲル化させた樹脂に転写することで元の微粒子構造が多層であってもこれを反転し,微粒子高さを揃えられる点である.白色干渉計を用いて高さ評価を行ったところ,数mmの範囲で数ミクロンの高さ分布が見られた.
さらに試作した研磨工具を用いてガラス板の加工実験を行った.回転工具基板と切れ刃面の間の平行度および回転精度が十分でなかったため,一様な研磨痕は見られなかったものの,個々の砥粒(微粒子)の擦過による研磨痕を観察することができた.延性モードに近い研磨痕もあり,工具としての一応の性能を評価することができた.

  • Research Products

    (8 results)

All 2012 2011 Other

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (3 results) Book (1 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Patterned Self-Assembly of Fine Particles as a Proposal of Precisely Allocated Cutting-Edge Tool2011

    • Author(s)
      N.Moronuki, A.Kaneko, K.Takada
    • Journal Title

      Int.J.of Automation Technology

      Volume: 5 Pages: 289-293

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 親水/疎水パターンによる自律的液滴移動に関する研究2011

    • Author(s)
      金子新, 長田岳人, 諸貫信行
    • Journal Title

      精密工学会誌

      Volume: 77 Pages: 700-706

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Instability Phenomenon in Dip-Coating Process for Self-Assembly of Fine Particles and Design Countermeasures2011

    • Author(s)
      M.Nishio, N.Moronuki, A.Kaneko
    • Journal Title

      Int.J.of Automation Technology

      Volume: 5 Pages: 688-693

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] パターン化自己整列微粒子の研磨工具への応用2012

    • Author(s)
      張文儒,諸貫信行
    • Organizer
      精密工学会春季大会
    • Place of Presentation
      東京
    • Year and Date
      2012-03-15
  • [Presentation] Patterned self-assembly of fine particles and its application to polishing tool2011

    • Author(s)
      N.Moronuki, W.R.Zhang
    • Organizer
      Leading Edge Manufacturing, JSME
    • Place of Presentation
      大宮
    • Year and Date
      2011-11-10
  • [Presentation] Patterned self-assembly of fine particles and their transfer/replication to produce complex microstructures2011

    • Author(s)
      N.Moronuki, K.Narita, A.Kaneko
    • Organizer
      International Conference of euspen
    • Place of Presentation
      Como, Italy
    • Year and Date
      2011-05-26
  • [Book] 微細構造から考える表面機能2012

    • Author(s)
      諸貫信行, 他
    • Total Pages
      199
    • Publisher
      森北出版
  • [Remarks]

    • URL

      http://www.comp.tmu.ac.jp/prost/

URL: 

Published: 2013-06-26  

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