2011 Fiscal Year Annual Research Report
ゆらぎ撮像エリプソメトリによる超臨界流体薄膜プロセスのマルチスケール制御
| Project/Area Number |
21360147
|
|---|
| Research Institution | University of Yamanashi |
|---|
Principal Investigator |
近藤 英一 山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 教授 (70304871)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
金 蓮花 山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 准教授 (40384656)
垣尾 省司 山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 准教授 (70242617)
渡邉 満洋 山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 助教 (90532036)
|
|---|
| Keywords | 超臨界流体 / ゆらぎ / エリプソメトリ / 面計測 / 弾性表面波 |
|---|
| Research Abstract |
本研究は、超臨界流体のマルチスケール揺らぎを「測り」「手なづける」ための方法論を構築することが目的である。本年度は,(1)エリプソメーターのナノ測定技術を利用した基板表面(界面)の局所揺らぎの測定、(2)ゆらぎ撮像用エリプソメータの開発、(3)弾性表面波の表面敏感性を利用したメゾ～バルクの流体揺らぎ測定技術開発を主に行なった。
得られた成果は以下のとおりである。
1.点計測による表面吸着ナノスケール表面ゆらぎ現象の解析→膜堆積のその場成長観察・吸着層の存在を実証、屈折率の分光特性に基づく物質同定(原料凝集相)を行った。また下地によりゆらぎ吸着層の厚さや成長過程が異なることを確認、密度ゆらぎの重要性を実証。特に貴金属下地を用いた場合に初期反応が促進することを確認した。
2.リアルタイム撮像エリプソメトリによるmmスケールの表面揺らぎ解析の可能性検討→昨年度製作した光変調素子を用いた撮像エリプソメーターの撮像処理ソフトを開発、1cm角(140pixels^□)程度の高速面計測装置を完成させた。絶対値精度も1°程度で面計測装置として満足のいくものであった。
3.μm～cmスケールバルクゆらぎセンサ→昨年度までに開発したレイリー共振器弾性表面波共振子に加えてSH-SAW共振器を開発した。いずれも高圧CO_2中の相状態の同定に成功し、0.5℃程度の温度変化に誘起される密度ゆらぎの測定に成功した。加えて、さらに簡便な微小電極型誘電率測定
以上、プロセス・計測両面で所定の目標をほぼ達成した。
|
Research Products
(25 results)
