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2009 Fiscal Year Annual Research Report

量子構造によるシリコン熱電変換特性の超高効率化と測定技術の開発

Research Project

Project/Area Number 21360336
Research InstitutionShizuoka University

Principal Investigator

池田 浩也  Shizuoka University, 電子工学研究所, 准教授 (00262882)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 石田 明広  静岡大学, 工学部, 教授 (70183738)
Keywords熱電変換材料 / シリコンナノ構造 / ゼーベック係数 / SOI基板 / KFM(表面電位顕微鏡)
Research Abstract

本研究は,ナノ構造の導入によりシリコン系熱電変換材料の性能指数を向上するとともに,ナノスケール材料を評価するための新しい手法の確立を目指している.本年度得られた主な成果を以下に示す.
(1)KFMによる熱起電力の測定
KFM(表面電位顕微鏡)によりバルクシリコンのゼーベック係数を評価したところ,従来の手法とほぼ同じ値が得られている.さらに,測定精度の向上に向けて,試料ホルダの改良を行った.現在,標準試料を用いて,KFM測定における測定値の精度・再現性・解析手法の確認を行っている.
(2)極薄シリコン層の熱電特性評価
10^<19>cm^<-3>以上のリン原子をドープした極薄SOI基板のゼーベック係数を測定したところ,5×10^<19>cm^<-3>付近にピークを持つことを見出した.不純物ドーピングに伴う不純物バンドの形成,イオン化エネルギーの低下,伝導帯のバンドテイリングを考慮してバルクシリコンの状態密度を計算したところ,フェルミエネルギー近傍での状態密度の傾きが,高濃度領域でピークを持つことがわかった.この結果は,高濃度ドーピングによりシリコンが金属的になり,ゼーベック係数が状態密度分布に強く支配されることを示す.

  • Research Products

    (14 results)

All 2010 2009 Other

All Journal Article (5 results) (of which Peer Reviewed: 4 results) Presentation (8 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] 高不純物濃度SOI基板のゼーベック係数2010

    • Author(s)
      池田浩也, ファイズ・サレ
    • Journal Title

      信学技報 ED2009-197, SDM2009-194

      Pages: 5-9

  • [Journal Article] Influence of heavy doping on Seebeck coefficient in silicon-on-insulator2010

    • Author(s)
      H.Ikeda, F.Salleh
    • Journal Title

      Appl.Phys.Lett 96

      Pages: 012106-1-3

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Impurity-concentration dependence of Seebeck coefficient in silicon-on-insulator layers2009

    • Author(s)
      F.Salleh, K.Asai, A.Ishida, H.Ikeda
    • Journal Title

      J.Autom.Mobile Rob.Intell.Syst. 3

      Pages: 134-136

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Seebeck coefficient measurement by Kelvin-probe force microscopy2009

    • Author(s)
      H.Ikeda, F.Salleh, K.Asai
    • Journal Title

      J.Autom.Mobile Rob.Intell.Syst. 3

      Pages: 49-51

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Seebeck coefficient of ultrathin silicon-on-insulator layers2009

    • Author(s)
      F.Salleh, K.Asai, A.Ishida, H.Ikeda
    • Journal Title

      Appl.Phys.Express 2

      Pages: 071203-1-3

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] SOI基板のゼーベック係数に与える高濃度ドーピング効果2010

    • Author(s)
      池田浩也, ファイズ・サレ
    • Organizer
      第57回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      平塚
    • Year and Date
      20100317-20100320
  • [Presentation] 高不純物濃度SOI基板のゼーベック係数2010

    • Author(s)
      池田浩也, ファイズ・サレ
    • Organizer
      電子情報通信学会ED・SDM合同研究会
    • Place of Presentation
      那覇
    • Year and Date
      20100222-20100223
  • [Presentation] Impurity-concentration dependence of Seebeck coefficient in silicon-on-insulator layers2009

    • Author(s)
      F.Salleh, K.Asai, A.Ishida, H.Ikeda
    • Organizer
      8th International Conference on Global Research and Education
    • Place of Presentation
      Kazimierz Dolny & Warsaw, Poland
    • Year and Date
      20090914-20090917
  • [Presentation] Seebeck coefficient measurement using a Kelvin-probe force microscope technique2009

    • Author(s)
      H.Ikeda, F.Salleh, K.Asai
    • Organizer
      8th International Conference on Global Research and Education
    • Place of Presentation
      Kazimierz Dolny & Warsaw, Poland
    • Year and Date
      20090914-20090917
  • [Presentation] バルク半導体及び超格子のゼーベック係数計算法2009

    • Author(s)
      石田明広, 井上翼, 池田浩也, 木太拓志
    • Organizer
      第70回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      富山
    • Year and Date
      20090908-20090911
  • [Presentation] 高濃度ドープシリコンのゼーベック係数2009

    • Author(s)
      ファイズ・サレ, 浅井清涼, 池田浩也
    • Organizer
      第70回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      富山
    • Year and Date
      20090908-20090911
  • [Presentation] Seebeck coefficient of ultrathin SOI films2009

    • Author(s)
      H.Ikeda, F.Salleh, K.Asai
    • Organizer
      International Conference on Thermoelectrics 2009 European Conference on Thermoelectrics 2009
    • Place of Presentation
      Freibrug, Germany
    • Year and Date
      20090726-20090730
  • [Presentation] KFMによるナノ構造熱電変換材料のゼーベック係数測定2009

    • Author(s)
      ファイズ・サレ, 浅井清涼, 池田浩也
    • Organizer
      表面科学会中部支部学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋
    • Year and Date
      2009-12-19
  • [Remarks]

    • URL

      http://serversman.net/ikedalab/

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Published: 2011-06-16   Modified: 2016-04-21  

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