2010 Fiscal Year Annual Research Report
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21540509
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| Research Institution | Nagoya University |
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Principal Investigator |
豊田 浩孝 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (70207653)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
石島 達夫 名古屋大学, 工学研究科, 助教 (00324450)
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| Keywords | シュタルク効果 / 大気圧プラズ / 電界計測 / 電子密度計測 / 発光分光 |
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| Research Abstract |
大気圧プラズマは、真空システムを用いないなど、従来のプラズマ源にない利点を有しており、表面処理などさまざまな分野への応用が進められている。また、それにともない本プラズマのプラズマ密度等の基礎的なプラズマ特性評価について高精度な計測手法が求められている。大気圧プラズマの電子密度測定法としては一般にシュタルク拡がりから算出する手法が用いられているが、本研究代表者らは、その時分解測定において放電時に印加される外部電界がシュタルクスペクトルの拡がりに影響を及ぼす可能性を指摘してきた。本研究はこの点に着目し、外部電界のスペクトル拡がりおよび密度測定に及ぼす影響を実験的に明らかにするとともに、より高精度なプラズマ密度測定法の指針を得ることを目的とする。
本年度は前年度に引き続き、スペクトルに対する電界の影響を評価する方法として提案している電界に対して平行および垂直方向のH_βスペクトル偏光面それぞれに対するスペクトル分裂の違いを利用した電界計測について、より高精度な線幅評価をおこなうため、高分解能のグレーティングを用いたスペクトル計測を行った。さらに、昨年度に進めてきたH_βスペクトルの時分解計測に加えて、さらにH_βスペクトルの空間分解計測を試みた。具体的には、顕微鏡を用いた発光イメージの拡大により、分光器のCCD検出器上に4倍を超える倍率で像を結ばせることにより、高い空間分解能を実現した。この結果、発光強度およびプラズマ密度の時空間発展過程に関する情報を得ることができ、本研究の大きな成果の一つを得ることができた。
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