2009 Fiscal Year Annual Research Report
フレキシブル基板上の無機・有機薄膜のキャリア輸送特性
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21560028
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| Research Institution | Saitama University |
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Principal Investigator |
白井 肇 Saitama University, 理工学研究科, 教授 (30206271)
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| Keywords | ZnO / CuPc / 薄膜トランジスター / 高分子ポリマー基板 / 移動度 / 圧縮・伸縮応力 |
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| Research Abstract |
プラズマCVD法、スパッタ法、真空蒸着法により半導体Si、ZnO、CuPc有機薄膜を作製し、膜質評価および薄膜トランジスター(TFT)、太陽電池素子の作製を系統的に行った。プラズマCVD法では,ジクロロシラン系から微結晶Si膜により、高移動度を有するTFT素子の作製とSi微細構造との関連を明らかにした(国際ディスプレイワークショップIDWO9にて告)。またスパッタによりZnO薄膜形製における酸素原子の役割を酸素添加量、数ナノメーターのZnO超薄膜の作成と酸素・アルゴンプラズマ処理を交互に繰り返すレイヤー・バイ・レイヤー法による製膜、ポスト酸素プラズマ処理により系統的に調べた。その結果酸素原子の化学反応性制御により、化学組成、結晶化率の促進、酸素欠損に起因する欠陥の抑制が可能であることを実証した。さらにスパッタZnO:Al(AZO)膜の短時間熱プラズマ短時間照射により抵抗率を増大させることなく結晶化率の促進が可能であることを実証した。現在太陽電池素形成プロセスへ発展させている。さらに銅フタロシアニン(CuPc)/C60ヘテロ接合太陽電池を試作し、変換効率1%を得た。特にスピンコートしたPEDOT:PSSの表面を大気圧低温アルゴンプラズマ照射による改質をおこなうことで、素子の特性、主に短絡電流密度、曲線因子の大幅な向上を実現した。この要因には、PSSの離脱にともなうシート抵抗の低減が直列抵抗の低減、並列抵抗の増大に寄写していることを明らかにした。これらの無機・有機薄膜素子をポリマー上基板に作製し、引っ張り・圧縮応力によるキャリア輸送特性への影響を定常電流、過渡光電流特性により評価を進めている。
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Research Products
(4 results)
