2009 Fiscal Year Annual Research Report
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21560046
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| Research Institution | Tokyo Polytechnic University |
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Principal Investigator |
川畑 州一 Tokyo Polytechnic University, 工学部, 教授 (10118747)
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| Keywords | 偏光 / ポラリメーター / エリプソメーター / 分光計測 |
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| Research Abstract |
透過型Four Detector Polarimeter(透過型FDP)は入射偏光を4つの光線に分岐させ、その光強度を測定することにより入射偏光の偏光状態を決定できる装置で、偏光素子を必要とせず構成もシンプルである。本研究では分光の透過型FDPを製作し、それを用いてリアルタイム分光エリプソメーターを開発することを目的としている。今年度の研究の進捗状況は
透過型FDPの測定部として、光軸を回転軸とし3つのキューブ型ハーフミラーを回転させた配置の透過型FDPヘッドを製作した。そしてまた、透過型FDPの光検出部となる光ファイバー入力分光器を開発し、各入力チャンネルにおける波長の校正を行なった。
ヘッド部と光検出部を光ファイバーで連結した透過型FDPを組み立て、独自に工夫したキャリブレーション法により、可視域での装置の特性行列を求めた。
装置の分光特性行列が決定できたことにより、入射光の各波長毎の偏光状態を一応求めることが出来るようになった。これらの成果により、分光エリプソメーターの開発への足がかりが出来た。
しかし、開発した透過型FDPの精度と感度については今後の検討課題である。
これらの成果の一部は春の応用物理学会で発表し、詳細は5月アメリカで開かれる国際分光偏光解析会議(ICSE-V)で報告する予定である。
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