2011 Fiscal Year Annual Research Report
| Project/Area Number |
21560046
|
|---|
| Research Institution | Tokyo Polytechnic University |
|---|
Principal Investigator |
川畑 州一 東京工芸大学, 工学部, 教授 (10118747)
|
|---|
| Keywords | 偏光 / ポラリメーター / エリプソメーター / 分光計測 |
|---|
| Research Abstract |
透過型Four Detector Polarimeter(透過型FDP)は入射偏光を4つの光線に分岐させ、その光強度を測定することにより入射偏光の偏光状態を決定できる装置で、偏光素子を必要とせず構成もシンプルである。本研究では分光の透過型FDPを製作し、それを用いてリアルタイム分光エリプソメーターを開発することを目的としている。H22度末までにはシリコン基板上の酸化膜とガラス基板上の金膜の測定を行ない、試作した透過型FDPが分光エリプソメーターとして十分機能することを確認した。
これら一連の検証実験は連携研究者の所属する東北大学多元物質研究所で行っていたが、H23年3月11日の東日本大震災のため、実験の中断を余儀なくされた。その間、開発した透過型FDPの光源をキセノンランプに変えて光量をアップし、計測および解析プログラムの整備を行なった。また、透過型FDPの精度および感度の向上とさまざまな薄膜測定への応用を検討し、予備的な実験として、He-Ne光源によるシャボン玉黒膜の膜厚測定を行なった。東京工芸大学にある透過型FDPを高速化(1μs毎の測定が可能)し、シャボン膜が割れる際の膜厚を独自の偏光計測干渉計により測定した。その測定結果はH23年10月のOSA Annual Meeting(San Jose,Ca,USA)で発表した。
|
