2010 Fiscal Year Annual Research Report
GaAs単結晶成長固液界面制御のための熱・物質移動現象の解明
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21560198
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| Research Institution | Tomakomai National College of Technology |
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Principal Investigator |
菊田 和重 苫小牧工業高等専門学校, 機械工学科, 教授 (90214741)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
近久 武美 北海道大学, 工学研究科, 教授 (00155300)
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| Keywords | 化合物半導体 / 伝熱 / 結晶成長 / 数値計算 / 可視化 / 旋回流 |
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| Research Abstract |
GaAs単結晶成長における熱・物質移動現象の解明を目的として,融液の複雑な流動現象を明らかにするために,前年度に引き続き可視化実験装置を用いて成長装置を模擬したるつぼ内の融液の流動観察を行なうとともに,流動観察の結果と数値計算の比較を行い,計算モデルの妥当性の検証を行った.一方,種々の結晶径,結晶長における成長装置内の熱流動数値計算を行い,GaAs結晶成長実験結果と比較・検証することで実現象の解明を試みた.
可視化実験は,るつぼを模擬したビーカー内にGaAsを模擬した水と封止材である酸化ホウ素を模擬した機械油を用いて行なった.トレーサー粒子にはGlass Hollow Spheresを用いた.実験装置は成長装置と同様に加熱ができ,模擬結晶とビーカーも回転する構造となっている.今年度はるつぼの回転数や結晶の回転数を変えたほか,融液の量も変化させて可視化実験を行った.それぞれの可視化結果は遠心力と対流が共存し互いに影響しあうものとなったが,数値計算によってもその特性を定性的に確認することができ,計算モデルの妥当性についても検証することができた.一方,成長装置内の熱流動解析では,大型炉における歩留まりの違いを明らかにするために,種々の結晶径,結晶長に対する解析を試みた.その結果,結晶径を問わず結晶長が長くなると結晶近傍の温度が上昇することが明らかになったほか,雰囲気中の窒素ガスの流動が結晶径の異なる成長において大きく変化することが明らかになった.このガス流動の違いが結晶の温度分布に与える影響は大きいこともわかった.
以上,本年度の研究により融液の流動特性をある程度明らかにできたほか,異なった結晶径,結晶長における装置内の熱・流動特性も明らかにすることができた.
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Research Products
(2 results)
