2009 Fiscal Year Annual Research Report
自己組織型ナノ凹凸基板上の超高密度熱アシスト記録用複合媒体
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21560368
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| Research Institution | Nihon University |
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Principal Investigator |
伊藤 彰義 Nihon University, 理工学部, 教授 (60059962)
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| Keywords | データストレージ / 自己組織化 / ナノスケール凹凸 / 複合材料・物性 / 熱アシスト記録 |
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| Research Abstract |
記録密度1平方インチ当り2テラビット(2Tb/in^2)以上の超高密度磁気・光・ハイブリッド記録媒体のための交換結合型孤立粒・連続膜の複合媒体技術、BPM用高Ku孤立微粒子およびその高充填率・規則配列化のための自己集積型凹凸下地基板の実現により超高密度磁気記録媒体実現を目的とする。
本年度は、本研究計画の中核をなす、2種のナノスケール凹凸構造を有する下地基板の作製プロセス、磁性微粒子数密度の増大効果検証につき以下の進展が得られた。
1:ナノ凹部を有する下地基板の作成
高分子の自己組織化現象により生じる球状ミセルを利用し、自己集積作用により形成した多孔質SiO_2表面をArエッチングすることにより、周期約14nmの凹部を有する基板(NDA)を作成した。平均凹部密度は、3.7T dents/inch^2である。
2:ナノ凸部を有する下地基板の作成
上記NDAと凹凸が双対な基板として、ディッピング法により溶液中に分散したナノシリカ粒子を熱酸化Si基板上へ自己集積したシリカ粒子層(SASP)を表面に有するテンプレート基板作成プロセスの検討、作成を行った。平均粒径18nmのナノシリカ球を1～2粒子層厚で形成可能なプロセスを明らかにした。このとき、ナノ粒子の平均面粒子密度は2.2T particles/inch^2である。
3:ナノ凹凸下地基板利用による磁性微粒子形成密度の増大
上記ナノ表面構造を有する下地基板を用いる事による磁性微粒子形成密度の増大効果につき検証を行った。SASP上へFe/Pt多層膜製膜、その後急速昇温結晶化法を用いることで作製したFePtナノ磁性微粒子形状は、平坦な熱酸化Si基板上へ作製した場合に比べ、平均粒子直径は29.6nmから14.8nmへ減少し、粒子数密度は0.16から0.74T particles/inch^2へと著しく増加する事を確認した。
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Research Products
(7 results)
