2011 Fiscal Year Annual Research Report
自己組織型ナノ凹凸基板上の超高密度熱アシスト記録用複合媒体
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21560368
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| Research Institution | Nihon University |
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Principal Investigator |
伊藤 彰義 日本大学, 理工学部, 教授 (60059962)
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| Keywords | データストレージ / 自己組織化 / ナノスケール凹凸 / 複合材料・物性 / 熱アシスト記録 |
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| Research Abstract |
記録密度1平方インチ当り2テラビット(2Tb/in^2)以上の超高密度磁気・光・ハイブリッド記録媒体のための交換結合型孤立粒・連続膜の複合媒体技術、BPM用高Ku孤立微粒子およびその高充填率・規則配列化のための自己集積型凹凸下地基板の実現により超高密度磁気記録媒体実現を目的とする。
本年度の主要な成果を以下に示す。
(1)ナノスケール凹凸を有する自己配列基板の改良
ナノ凹凸構造の高強度化、均質化、表面残留物除去を図り、前年度検討した平均直径18nmの自己集積シリカ粒子層(SASP)をマスクパターンとし、エッチング(ICP-RIE)処理による熱酸化Si基板へのナノスケール転写構造形成につき作成を行い、作成が可能であることを確認した。
(2)急速昇温結晶化(RTA)法によるFePtCu磁性孤立粒子の形成過程解明と結晶構造解析
本年度新たにRTA直後の急冷プロセスを導入しRTA後の残留熱効果による結晶粒同士の結合を抑制することで、孤立微結晶粒形成過程の構造と熱処理条件との相関につき検討した。Fe/Cu/Pt三層膜を出発構造とし、種々の最高到達温度Tm、昇温速度Trにおける微粒子形成および析を実施した結果、Tr=150℃/s、Tm=460℃付近において、孤立微粒子が得られ、XRDプロファイルより主にLlo規則合金相に相当する(001)超格子ピークが見られるが、(002)ピーク周辺部に不規則相によると思われる分布が出現した。詳細構造検討として単一微粒子に対する面内TEM観察及び電子線回折より、微粒子の核となる大部分は規則相となり、周辺部に不規則相が出現している事が明らかとなった。以上より、約3sの急速熱処理及び時定数4.4sの冷却プロセスで、Llo規則相を主成分としたFeCuPt微粒子を形成した。
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