2009 Fiscal Year Annual Research Report
コンビナトリアル・スパッタ法によるEL素子用超高輝度青色蛍光体薄膜の開発
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21560728
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| Research Institution | Kanazawa Institute of Technology |
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Principal Investigator |
南 内嗣 Kanazawa Institute of Technology, 工学部, 教授 (70113032)
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| Keywords | 薄膜 / EL素子 / コンビナトリアル / スパッタリング / 蛍光体 |
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| Research Abstract |
平成21年度は以下の研究開発項目を実施した。
1)コンビナトリアル・スパッタリング法により、多元系蛍光体薄膜を作製する成膜技術を確立した。高輝度青色発光酸化物蛍光体薄膜であるBi添加La_2O_3をベースとして((La_2O_3)_x-(In_2O_3)_<1-x>):Bi,及び((La_2O_3)_x-(Ga_2O_3)_<1-x>):Bi蛍光体薄膜において、高輝度青色PL及びEL発光を実現できた。
2)エネルギー分散型X線微量元素分析装置(EDX)及びX線光電子分光分析装置(XPS)を用いて、コンビナトリアルスパッタリング法により作製したLa_2O_3ベース多元系複合酸化物蛍光体薄膜中の構成元素の組成及発光中心材料であるBiの添加量の基板位置依存性を明らかにした。特に、最適化されたBiの添加量を有する((La_2O_3)_x-(Ga_2O_3)_<1-x>):Bi蛍光体薄膜において、高輝度青色PL及びEL発光を実現できた。
3)作製したLa_2O_3ベース多元系複合酸化物蛍光体薄膜の結晶性の改善による発光効率の向上を目的として、800～1100℃での熱処理を行い、作製された膜の結晶学的特性およびフォトルミネッセンス(PL)評価等を行い成膜条件との関係を調べるた結果、PLとELでは最適熱処理温度がそれぞれ1000℃及び1100℃と異なることを明らかにできた。
以上の成果から、本年度の研究目標は十分に達成できたといえる。
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