2009 Fiscal Year Annual Research Report
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21604005
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| Research Institution | University of Hyogo |
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Principal Investigator |
持地 広造 兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 教授 (40347521)
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| Keywords | 表面分析 / 二次イオン質量分析 / クラスターイオン |
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| Research Abstract |
(1) イオンビーム収束装置の試作:ガラスキャピラリー、入射イオンビームとキャピラリー入口の位置調整部(マニピュレーター)、および出射イオン電流検出部から構成されるイオンビーム収束装置を試作した。
(2) キャピラリーの製作:生物学実験用ピペット作成のためのガラス管加工装置を利用して、入口径:800μm、出口径:100～3μmの各種ガラスキャピラリーを作成した。
(3) クラスターイオンビーム発生装置とイオンビーム収束装置の結合:アルゴンクラスターイオンビーム発生装置の後方に真空ゲートバルブを介してイオンビーム収束装置を結合した。クラスターイオンビームを収束実験に利用するときは当該ゲートバルブを開き、キャピラリー交換などで収束装置を大気に開放するとき、あるいはクラスターイオンビームを他の利用実験へ使用するときはゲートバルブを閉じた。この結果、クラスターイオンビームを有効にタイムシェアして利用することができる。装置の結合後、クラスターイオンビームをイオンビーム収束装置内に設置したイオン感応性ポリマー(レジスト薄膜)に照射し、イオンビームの照射位置を確認した。さらに、イオンビームの中心とキャピラリー入口の中心が一致するように、キャピラリーを設置したマニピュレーターを調整した。以上により、ガラスキャピラリーにクラスターイオンビームを通過させ、キャピラリーによる収束効果の評価実験を行う準備が整った。
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