2009 Fiscal Year Annual Research Report
フラーレン内包1次元カーボンナノチューブ複合体による3端子スイッチング素子の開発
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21655067
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| Research Institution | Nagoya Institute of Technology |
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Principal Investigator |
林 靖彦 Nagoya Institute of Technology, 工学研究科, 准教授 (50314084)
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| Keywords | ナノエレクトロメカニカルスイッチ / ナノ材料 / ナノチューブ・フラーレン / マイクロ・ナノデバイス / 半導体物性 |
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| Research Abstract |
本研究では,基板上に垂直配向させた3本の金属内包フラーレン(以後CNTとよび,3本の金属内包CNTsのそれぞれをT1,T2,T3と呼ぶ)とカーボンナノチューブで構成した「ピーポッド」(以後「ピーポッド」と呼ぶ)の電気・磁気的相互作用を利用し,高周波ナノエレクトロメカニカルスイッチ(以後ピーポッドNEMSと呼ぶ)や将来的に新規ナノ磁性素子を開発しようとするものである.本年度は,2研究を実施した.
CNT成長とピーポッド作製
DCプラズマCVD装置よりC_2H_2およびNH_3ガスを導入し,基板バイアス印加によりCNTがLの長さになるまで成長を行った.その後,CNTの先端キャップをプラズマ処理により除去・開口,その後気相法により金属内包フラーレンをCNT内に内包させた.透過型電子顕微鏡(TEM)によりCNTに内包した金属内包フラーレンの確認はできたが,基板内での内包率にばらつきがあることが分かり,今後内包率の均一化を解決する必要がある.
ピーポッドNEMSの微細構造評価
TEMにより様々な角度から撮影した像をもとにコンピュータ上に3次元像を再構成する「電子線トモグラフィー法」により,基板に垂直に成長したピーポッドの3次元観察を直接行う準備のため,金属内包CNTお観察を実施し,内包金属の3次元微細構造評価に成功した.これにより,ピーポッドの3次元観察が可能となった.
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Research Products
(2 results)
