2011 Fiscal Year Final Research Report
Highly sensitive infra-red sensor using non-linear vibration
| Project/Area Number |
21656105
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
Measurement engineering
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| Research Institution | Toyota Technological Institute |
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Principal Investigator |
SASAKI Minoru 豊田工業大学, 工学部, 教授 (70282100)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
KUMAGAI Shinya 豊田工業大学, 工学部, 准教授 (70333888)
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| Project Period (FY) |
2009 – 2011
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| Keywords | 計測工学 / マイクロ・ナノデバイス / 赤外線センサ / 振動型 / 非線形効果 |
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| Research Abstract |
A new infra-red sensor is proposed using the non-linear vibration, which can be observed in the tense thin film MEMS twisting resonator under the influence of the thermal stress generating the bending. The basic performance is confirmed by designing and fabricating the devices. The shift of the resonant frequency indicates the detection of the infra-red. From the results operated under the vacuum condition, 0.04℃change of the resonator temperature is estimated to be resolved.
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[Remarks] 研究期間外ではあるが、以下の特許出願を行った。「ねじり振動を利用した赤外線の検出方法とこれを実施したねじり振動を利用した赤外線の検出装置」(出願日)平成21年3月31日(出願番号)特願2009-83939
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[Remarks] 同種の研究テーマとして、以下を受けた。「高感度ねじり振動型MEMS赤外線センサ」平成21年度独立行政法人科学技術振興機構JSTシーズ発掘試験2,000千円(研究代表者:佐々木実)
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[Remarks] 振動子のリリースプロセスである超臨界乾燥では(株)レクザムの協力を受けた。非線形バネの解析に利用したマイクロミラーは東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センターにて、羽根一博教授の協力を受け製作された
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