2009 Fiscal Year Annual Research Report
絶縁物からの二次電子放出機構の解明と二次電子収率データベース構築
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21686005
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
永富 隆清 Osaka University, 工学研究科, 助教 (90314369)
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| Keywords | 二次電子 / 絶縁物 / エキソ電子 |
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| Research Abstract |
本研究では,エキソ電子計測系を搭載した二次電子検出装置を開発し,絶縁物への電子・イオン照射による帯電と二次電子放出過程の解明を目指す.また,小型簡易二次電子収率測定ホルダーを試作して収率測定を行うことで,汎用装置を用いた実材料の二次電子収率測定法を確立するとともに,得られた収率のデータベース構築を推進する.さらに,低加速走査電子顕微鏡(SEM)用標準試料を作製し,低速SEMにおける二次篭子放出過程の解明を自指す.これらの課題を推進することで,二次電子放出過程に関する新しい知見を得ることを目指す.エキソ電子検出システムについては現在測定システムの開発を進めている.本検出器を用いた二次電子検出については,パルスイオン照射システムを開発して,電流ならびに口荷モードによる絶縁物からの二次電子収率測定を行っている.そのために必要な測定システムや試料加熱システムなども試作した.新たな二次電子収率測定用の試料ホルダーについては,現在までに開発している試料ホルダーに改良を加えて新たなホルダーの試作を行っているところである.二次電子収率データベースについては,日本学術振興会産学研究協力委員会である第141委員会内に専門委員会を設置し,実用的なデータベース構築に向けた活動を開始した.本委員会では高感度チャージアンプを用いた絶縁物からの二次電子収率測定など新しい試みも開始した.また,これらとあわせて,イオンや電子と固体表面との相互作用の解明に関する研究も推進している.
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